[實用新型]真空腔

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220201550.6
• 申請日: 2012-05-07
• 公開（公告）號: CN202633249U
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 樸宇鐘;樸希偵
• 申請（專利權(quán)）人: 麗佳達普株式會社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京鴻元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及真空腔，更具體地，涉及排氣效率高且制造成本低的真空腔。

背景技術(shù)

在制造半導(dǎo)體晶片或平面基板等工藝中，廣泛使用真空腔。例如，成膜處理或蝕刻處理在規(guī)定氣壓以下的真空狀態(tài)下進行，并排出工藝中所用的氣體，因此，利用腔室內(nèi)部保持真空狀態(tài)且能夠排出內(nèi)部氣體的真空腔。

一般情況下，在真空腔中形成有貫穿腔室下部或側(cè)部的排氣口。排氣口與排氣泵連接，使腔室內(nèi)部的氣體向腔室外部排出。

現(xiàn)有真空腔的排氣口形成為具有與排氣泵相應(yīng)口徑的圓柱形狀，或者形成為口徑逐漸向腔室內(nèi)側(cè)變大的圓錐形狀。

但是，雖然圓柱形的排氣口容易加工，但排氣效率低，存在需要形成多個排氣口的問題，而圓錐形的排氣口雖然比圓柱形的排氣口排氣效率高，但難以加工，從而導(dǎo)致腔室制造成本增加。

實用新型內(nèi)容

本實用新型是為了解決所述問題而提出的，本實用新型的目的在于提供排氣效率高且制造成本低的真空腔。

用于解決所述問題的本實用新型涉及的真空腔包括：外殼，具有用于收容或移送被處理體的空間；排氣槽，形成在所述外殼的內(nèi)側(cè)面上；排氣孔，形成在所述排氣槽的一面上，并貫穿所述外殼；以及排氣泵，與所述排氣孔連接，排出所述外殼內(nèi)部的氣體。

所述排氣槽可以形成為，所述排氣槽的截面積大于所述排氣孔的截面積。

所述排氣孔與所述排氣槽可以形成臺階。

所述排氣槽的外輪廓可以形成為圓形。

所述排氣槽的外輪廓可以形成為多邊形。

所述排氣槽的外輪廓可以形成為矩形。

所述排氣槽可以具有：主槽以及從所述主槽的一側(cè)向所述外殼的內(nèi)側(cè)方向延伸形成的突出槽。

所述突出槽的寬度小于所述主槽的寬度，所述突出槽與所述主槽可以形成臺階。

所述突出槽的外輪廓可以形成為矩形。

所述突出槽的一側(cè)的外輪廓可以形成為圓弧形。

在所述外殼內(nèi)的所述空間中具有用于支承所述被處理體的工作臺，所述突出槽的至少一部分可位于所述工作臺的下部。

一種真空腔，其特征在于，在所述外殼內(nèi)的所述空間中具有用于支承所述被處理體的工作臺，所述突出槽位于所述工作臺下部的外側(cè)。

所述排氣孔的外輪廓可以形成為圓形。

所述排氣孔的外輪廓可以形成為多邊形。

所述排氣孔的外輪廓可以形成為矩形。

用于解決所述問題的本實用新型涉及的真空腔包括：外殼，具有用于收容或移送被處理體的空間；排氣部，在所述外殼的一面上貫穿形成，內(nèi)側(cè)面折曲形成為具有規(guī)定級差的多級臺階；排氣泵，與所述排氣部連接，用于排出所述外殼內(nèi)部的氣體。

本實用新型涉及的真空腔具有降低制造成本且提高排氣效率的效果。

本實用新型的技術(shù)效果并不限于如上所述的效果，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可通過下面的記載明確理解未提到的其它技術(shù)效果。

附圖說明

圖1是示出本實用新型的第一實施例涉及的真空腔的概略剖視圖。

圖2是示出本實用新型的第一實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。

圖3是示出本實用新型的第一實施例涉及的真空腔的排氣部的剖視圖。

圖4是示出本實用新型的第二實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。

圖5是示出本實用新型的第三實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。

圖6是示出本實用新型的第四實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。

圖7是示出本實用新型的第五實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。

圖8是示出本實用新型的第六實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。

圖9是示出本實用新型的第七實施例涉及的真空腔的排氣部的立體圖。

圖10是示出本實用新型的實施例涉及的排氣部和工作臺的布置狀態(tài)的一實施例的剖視圖。

圖11是示出本實用新型的實施例涉及的排氣部和工作臺的布置狀態(tài)的另一實施例的剖視圖。

附圖標(biāo)記：

100：真空腔????????110：外殼

111：排氣面????????130：排氣泵

140：閘門??????????150：工作臺

120、220、320、420、520、620、720：排氣部

121、221、321、421、521、621、721：排氣槽

122、222、322、422、522、622、722：排氣孔

123、223、323、423、523、623、723：臺階部