[實(shí)用新型]光罩存儲(chǔ)盒開盒器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220200406.0
• 申請(qǐng)日: 2012-05-04
• 公開（公告）號(hào): CN202601591U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李炯;許青峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 陸花

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備，尤其涉及一種用于內(nèi)部裝有掩膜板的光罩存儲(chǔ)盒的開啟及組裝的光罩存儲(chǔ)盒開盒器。?

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造設(shè)施中，微粒和空氣傳播的分子污染物會(huì)造成很嚴(yán)重的問題。這些污染物能導(dǎo)致例如起霧之類的光罩缺陷，通常，采用光罩存儲(chǔ)盒用于保護(hù)光罩在存儲(chǔ)和運(yùn)輸?shù)倪^程中免受這些污染的影響，但光罩存儲(chǔ)盒中的這些污染物的積聚是常見的，這會(huì)劣化光罩的整體質(zhì)量。?

目前光罩傳送機(jī)中雖已整合有開盒功能，但只可取出其內(nèi)部的掩膜板，無法取下光罩存儲(chǔ)盒進(jìn)行清洗并完成后續(xù)組裝工作，且現(xiàn)有的手動(dòng)開盒器開鎖與抬升的功能分別利用不同的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)來完成，結(jié)構(gòu)復(fù)雜且售價(jià)高昂。?

因此，如何提供一種既能夠同時(shí)完成開鎖與抬升動(dòng)作又結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、價(jià)格低廉的光罩存儲(chǔ)盒開盒器是本領(lǐng)域的技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。?

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種光罩存儲(chǔ)盒開盒器，以解決現(xiàn)有的光罩存儲(chǔ)盒開盒器開鎖與抬升功能不能同時(shí)完成的問題。?

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種光罩存儲(chǔ)盒開盒器，用于放置及拆裝光罩存儲(chǔ)盒，包括中空的殼體、設(shè)于所述殼體內(nèi)部的控制單元、分別伸出殼體兩側(cè)壁豎向滑槽的操作桿以及伸出殼體頂部四個(gè)橫向滑槽的用于開啟和鎖定光罩存儲(chǔ)盒底部?的四個(gè)鎖扣的四個(gè)活動(dòng)鉤爪，所述四個(gè)活動(dòng)鉤爪的位置分別與所述四個(gè)鎖扣位置相對(duì)應(yīng)，所述操作桿通過所述控制單元控制所述活動(dòng)鉤爪在所述橫向滑槽內(nèi)的水平移動(dòng)以及垂直運(yùn)動(dòng)。?

較佳地，所述殼體頂部設(shè)有定位柱及固定夾，所述定位柱的位置與所述光罩存儲(chǔ)盒的定位孔相對(duì)應(yīng)，所述固定夾與所述光罩存儲(chǔ)盒的突起部相對(duì)應(yīng)。?

較佳地，所述控制單元包括伸縮部件、滑塊、水平導(dǎo)軌以及豎向?qū)к墸霾僮鳁U與所述伸縮部件活動(dòng)連接，所述伸縮部件的兩端分別與所述滑塊活動(dòng)連接，所述活動(dòng)鉤爪固定于所述滑塊上，所述水平導(dǎo)軌橫向穿過所述滑塊與所述滑塊可活動(dòng)式連接，所述豎向?qū)к壺Q向穿過所述水平導(dǎo)軌的端部與所述水平導(dǎo)軌可活動(dòng)式連接，所述豎向?qū)к壒潭ㄓ谒鰵んw。?

較佳地，所述伸縮部件包括兩個(gè)直桿，所述兩個(gè)直桿有一活動(dòng)連接端，所述操作桿與所述活動(dòng)連接端活動(dòng)連接，所述兩個(gè)直桿的另一端分別連接至所述滑塊。?

較佳地，所述兩個(gè)直桿的中部連接一彈性部件。?

較佳地，所述彈性部件采用彈簧。?

較佳地，所述控制單元還包括擋塊，所述擋塊固定于所述殼體內(nèi)，所述擋塊還包括限位機(jī)構(gòu)，所述滑塊上下移動(dòng)的范圍不能超出所述限位機(jī)構(gòu)。?

較佳地，所述滑塊靠近所述擋塊的一側(cè)設(shè)有一突起部，所述限位機(jī)構(gòu)為在所述擋塊上設(shè)有分別使所述滑塊位于最高位置和最低位置時(shí)與所述突起部相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)凹槽。?

本實(shí)用新型提供的光罩存儲(chǔ)盒開盒器，包括中空的殼體、設(shè)于所述殼體內(nèi)部的控制單元、分別伸出殼體兩側(cè)壁豎向滑槽的操作桿以及伸出殼體頂部四個(gè)橫向滑槽的用于開啟和鎖定光罩存儲(chǔ)盒底部的四個(gè)鎖扣的四個(gè)活動(dòng)鉤爪，所述四個(gè)活動(dòng)鉤爪的位置分別與所述四個(gè)鎖扣位置相對(duì)應(yīng)，所述操作桿通過所述控制單元控制所述活動(dòng)鉤爪在所述橫向滑槽內(nèi)的水平移動(dòng)以及垂直運(yùn)動(dòng)。所述活動(dòng)鉤爪的水平移動(dòng)控制所述光罩存?儲(chǔ)盒的開啟及鎖定，所述活動(dòng)鉤爪的垂直運(yùn)動(dòng)控制所述光罩存儲(chǔ)盒的抬升，通過對(duì)所述操作桿的操作，在本實(shí)用新型的光罩存儲(chǔ)盒開盒器上同時(shí)完成光罩存儲(chǔ)盒的開鎖和抬升的動(dòng)作，簡(jiǎn)化設(shè)計(jì)以達(dá)到降低制造成本，提高生產(chǎn)效率的目的。?

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例的光罩存儲(chǔ)盒開盒器外部結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例的光罩存儲(chǔ)盒開盒器內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例的光罩存儲(chǔ)盒開盒器操作步驟流程圖。?

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說明。?