[實用新型]光罩存儲盒開盒器有效
| 申請號： | 201220200406.0 | 申請日： | 2012-05-04 |
| 公開（公告）號： | CN202601591U | 公開（公告）日： | 2012-12-12 |
| 發明（設計）人： | 李炯;許青峰 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陸花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 存儲 盒開盒器 | ||
1.一種光罩存儲盒開盒器，用于放置及拆裝光罩存儲盒，其特征在于，包括中空的殼體、設于所述殼體內部的控制單元、分別伸出殼體兩側壁豎向滑槽的操作桿以及伸出殼體頂部四個橫向滑槽的用于開啟和鎖定光罩存儲盒底部的四個鎖扣的四個活動鉤爪，所述四個活動鉤爪的位置分別與所述四個鎖扣位置相對應，所述操作桿通過所述控制單元控制所述活動鉤爪在所述橫向滑槽內的水平移動以及垂直運動。
2.如權利要求1所述的光罩存儲盒開盒器，其特征在于，所述殼體頂部設有定位柱及固定夾，所述定位柱的位置與所述光罩存儲盒的定位孔相對應，所述固定夾與所述光罩存儲盒的突起部相對應。
3.如權利要求1所述的光罩存儲盒開盒器，其特征在于，所述控制單元包括伸縮部件、滑塊、水平導軌以及豎向導軌，所述操作桿與所述伸縮部件活動連接，所述伸縮部件的兩端分別與所述滑塊活動連接，所述活動鉤爪固定于所述滑塊上，所述水平導軌橫向穿過所述滑塊與所述滑塊可活動式連接，所述豎向導軌豎向穿過所述水平導軌的端部與所述水平導軌可活動式連接，所述豎向導軌固定于所述殼體。
4.如權利要求3所述的光罩存儲盒開盒器，其特征在于，所述伸縮部件包括兩個直桿，所述兩個直桿有一活動連接端，所述操作桿與所述活動連接端活動連接，所述兩個直桿的另一端分別連接至所述滑塊。?
5.如權利要求4所述的光罩存儲盒開盒器，其特征在于，所述兩個直桿的中部連接一彈性部件。
6.如權利要求5所述的光罩存儲盒開盒器，其特征在于，所述彈性部件采用彈簧。
7.如權利要求3所述的光罩存儲盒開盒器，其特征在于，所述控制單元還包括擋塊，所述擋塊固定于所述殼體內，所述擋塊還包括限位機構，所述滑塊上下移動的范圍不能超出所述限位機構。
8.如權利要求7所述的光罩存儲盒開盒器，其特征在于，所述滑塊靠近所述擋塊的一側設有一突起部，所述限位機構為在所述擋塊上設有分別使所述滑塊位于最高位置和最低位置時與所述突起部相對應的兩個凹槽。?
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
