[實用新型]風量調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220193315.9
• 申請日: 2012-04-28
• 公開（公告）號: CN202705464U
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉東;崔娟娟;李一吾;劉俊豪
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/52
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種風量調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)

硅外延是一種典型化學(xué)氣相淀積(CVD)技術(shù)。它的工藝過程是在單晶硅襯底上沿著原來的結(jié)晶方向生長一層導(dǎo)電類型、電阻率、厚度和晶格結(jié)構(gòu)及其完整性都符合要求的新單晶層。在外延工藝技術(shù)中，工藝腔室的溫度均勻性和冷卻效果是一項很重要的技術(shù)參數(shù)。在一些工藝過程中還需要階段性改變腔室溫度，以便能更好的提高生產(chǎn)率，此時空氣流量控制裝置將會起到至關(guān)重要的作用。如何能準確控制這些參數(shù)來對應(yīng)工藝的需求，是所有風循環(huán)冷卻過程中要解決的問題。通常使用普通風閥來解決這一問題，在減小風量的過程中風阻會快速的增加，風阻增加會帶來風量的減少，這樣在整個控制曲線中很難調(diào)整到一個合適的點，也很難實現(xiàn)不同階段的多種風量；在外延工藝中使用的氣體多數(shù)為易燃易爆氣體，而普通風閥的電動執(zhí)行器又存在安全隱患。

發(fā)明內(nèi)容

(一)要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是：提供一種風量調(diào)節(jié)裝置，能夠在外延工藝不同階段提供多種適合的風量。

(二)技術(shù)方案

為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種風量調(diào)節(jié)裝置，包括沿風道的軸向設(shè)有開口的支承體、可滑動地改變與所述開口重合部分面積的控制滑板、以及驅(qū)動所述控制滑板滑動的滑動調(diào)節(jié)件。

優(yōu)選地，所述支承體包括位于所述控制滑板板面兩側(cè)的上板和下板、以及于所述控制滑板邊緣外側(cè)連接在所述上板和下板之間的中間隔板。

優(yōu)選地，所述支承體還包括限制于所述控制滑板的滑動邊緣兩側(cè)的滑塊。

優(yōu)選地，所述滑動調(diào)節(jié)件為氣缸驅(qū)動裝置，所述控制滑板與氣缸驅(qū)動裝置的氣缸活塞連接。

優(yōu)選地，所述氣缸驅(qū)動裝置還包括容置所述氣缸活塞的氣缸、以及于氣缸活塞伸出的一側(cè)固定在所述氣缸上的活塞鎖緊件，所述氣缸通過氣缸伸縮控制電磁閥與所述壓縮氣體供氣管路連通，所述活塞鎖緊件通過氣缸鎖緊控制電磁閥與所述壓縮氣體供氣管路連通。

優(yōu)選地，所述氣缸外周設(shè)有沿氣缸軸向位置可調(diào)的第一磁環(huán)和第二磁環(huán)，所述第一磁環(huán)更靠近所述活塞鎖緊件設(shè)置，其中，所述氣缸活塞伸出到達第一磁環(huán)時，所述第一磁環(huán)向所述氣缸鎖緊控制電磁閥發(fā)出鎖緊信號；所述氣缸活塞縮回到達第二磁環(huán)時，所述第二磁環(huán)向所述氣缸鎖緊控制電磁閥發(fā)出鎖緊信號。

優(yōu)選地，所述氣缸伸縮控制電磁閥分別通過進氣管與排氣管與所述氣缸連通，所述進氣管上設(shè)有進氣調(diào)速閥；所述排氣管上設(shè)有排氣調(diào)速閥。

優(yōu)選地，所述控制滑板與所述氣缸活塞之間通過運動連接件連接，所述氣缸通過氣缸安裝板與所述支承體連接。

優(yōu)選地，所述滑動調(diào)節(jié)件為螺栓調(diào)節(jié)機構(gòu)，所述螺栓調(diào)節(jié)機構(gòu)包括安裝在所述支承件上的固定部，以及活動端與所述控制滑板連接的螺栓。

(三)有益效果

本實用新型可以實現(xiàn)多種不同風口開度的定位，可以很方便的調(diào)節(jié)風量的大小，能在外延工藝時實現(xiàn)熱量分布均勻、加熱與冷卻的平衡、不同工藝階段時的多種溫度，避免了傳統(tǒng)調(diào)節(jié)裝置的復(fù)雜結(jié)構(gòu)，和較繁瑣的操作過程。

本實用新型采用氣缸作為滑動調(diào)節(jié)件對控制滑板的滑動進行控制，不會產(chǎn)生電火花，在有易燃易爆氣體的環(huán)境中沒有安全隱患。

本實用新型風口是利用滑板的滑動來實現(xiàn)開關(guān)的，在調(diào)節(jié)過程中風口由一個開口構(gòu)成，做到風阻增加比較小，控制效果理想，避免了傳統(tǒng)百葉窗式風閥調(diào)節(jié)時靠很多窄槽過風增加風阻的情況。

附圖說明

圖1為根據(jù)本實用新型實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的俯視圖；

圖3為根據(jù)本實用新型實施例一支承件與控制滑板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為圖3的A-A剖視圖；

圖5為根據(jù)本實用新型實施例一滑動調(diào)節(jié)件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為根據(jù)本實用新型實施例一滑動調(diào)節(jié)件氣動控制原理示意圖；

其中，100：支承體；101：上板；102：下板；103：中間隔板；104：滑塊；

200：控制滑板；

300：氣缸驅(qū)動裝置；301：氣缸活塞；302：氣缸；303：活塞鎖緊件；304：第一磁環(huán)；305：第二磁環(huán)；306：鎖緊件進氣口；307：氣缸伸縮控制電磁閥；308：氣缸鎖緊控制電磁閥；309：進氣調(diào)速閥；310：排氣調(diào)速閥；311：壓縮氣體供氣管路；312：帶逆流功能的減壓閥；

400：運動連接件；

500：氣缸安裝板。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖及實施例對本發(fā)明進行詳細說明如下。

實施例一：