[實用新型]風量調節裝置有效
| 申請號: | 201220193315.9 | 申請日: | 2012-04-28 |
| 公開(公告)號: | CN202705464U | 公開(公告)日: | 2013-01-30 |
| 發明(設計)人: | 劉東;崔娟娟;李一吾;劉俊豪 | 申請(專利權)人: | 北京七星華創電子股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/455 | 分類號: | C23C16/455;C23C16/52 |
| 代理公司: | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人: | 王瑩 |
| 地址: | 100015 北京*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 風量 調節 裝置 | ||
1.一種風量調節裝置,其特征在于,包括沿風道的軸向設有開口的支承體、可滑動地改變與所述開口重合部分面積的控制滑板、以及驅動所述控制滑板滑動的滑動調節件。
2.如權利要求1所述的風量調節裝置,其特征在于,所述支承體包括位于所述控制滑板板面兩側的上板和下板、以及于所述控制滑板邊緣外側連接在所述上板和下板之間的中間隔板。
3.如權利要求2所述的風量調節裝置,其特征在于,所述支承體還包括限制于所述控制滑板的滑動邊緣兩側的滑塊。
4.如權利要求1所述的風量調節裝置,其特征在于,所述滑動調節件為氣缸驅動裝置,所述控制滑板與氣缸驅動裝置的氣缸活塞連接。
5.如權利要求4所述的風量調節裝置,其特征在于,所述氣缸驅動裝置還包括容置所述氣缸活塞的氣缸、以及于氣缸活塞伸出的一側固定在所述氣缸上的活塞鎖緊件,所述氣缸通過氣缸伸縮控制電磁閥與所述壓縮氣體供氣管路連通,所述活塞鎖緊件通過氣缸鎖緊控制電磁閥與所述壓縮氣體供氣管路連通。
6.如權利要求5所述的風量調節裝置,其特征在于,所述氣缸外周設有沿氣缸軸向位置可調的第一磁環和第二磁環,所述第一磁環更靠近所述活塞鎖緊件設置,其中,所述氣缸活塞伸出到達第一磁環時,所述第一磁環向所述氣缸鎖緊控制電磁閥發出鎖緊信號;所述氣缸活塞縮回到達第二磁環時,所述第二磁環向所述氣缸鎖緊控制電磁閥發出鎖緊信號。
7.如權利要求5所述的風量調節裝置,其特征在于,所述氣缸伸縮控制電磁閥分別通過進氣管與排氣管與所述氣缸連通,所述進氣管上設有進氣調速閥;所述排氣管上設有排氣調速閥。
8.如權利要求4所述的風量調節裝置,其特征在于,所述控制滑板與所述氣缸活塞之間通過運動連接件連接,所述氣缸通過氣缸安裝板與所述支承體連接。
9.如權利要求1所述的風量調節裝置,其特征在于,所述滑動調節件為螺栓調節機構,所述螺栓調節機構包括安裝在所述支承件上的固定部,以及活動端與所述控制滑板連接的螺栓。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





