[實用新型]一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220188314.5
• 申請日: 2012-04-28
• 公開（公告）號: CN202654903U
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發(fā)明（設計）人: 羅邦彥
• 申請（專利權）人: 四川瑞能硅材料有限公司
• 主分類號: B01D53/04
• 分類號: B01D53/04;C01B3/56
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 詹永斌;錢成岑

技術領域

本實用新型涉及一種吸附柱并網裝置，特別是一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網裝置，屬于多晶硅化工技術領域。?

背景技術

國內外的多晶硅生產主要采用“改良西門子法”，該方法中的CDI工藝是比較成熟的多晶硅生產尾氣回收工藝，其工藝步驟大概為：尾氣先經過冷凝將氯硅烷、氯化氫和氫氣分離開后，液態(tài)的氯硅烷送精餾工序，氣態(tài)的氯化氫、氫氣經過吸收塔、解析塔被分離開，其中的氯化氫送至合成工序，氫氣再經吸附柱除去殘余的氯硅烷和氯化氫后繼續(xù)作為生產原料使用。

由于多晶硅還原系統(tǒng)中的尾氣回收和氫化系統(tǒng)中的尾氣回收是兩套獨立的系統(tǒng)，但是由于還原系統(tǒng)和氫化系統(tǒng)輸送至尾氣回收工序的物料具有相近性，所以在其中一套尾氣回收系統(tǒng)出現動力設備（如壓縮機和螺桿機等）工況意外下，則可以用另外一套正常運行的回收系統(tǒng)處理來同時處理還原系統(tǒng)和氫化系統(tǒng)的尾氣以維持生產。但是由于單套系統(tǒng)處理能力有限，此時還原系統(tǒng)和氫化系統(tǒng)必須減量運行，但即使在降低生產負荷情況下，單套吸附柱凈化氫氣也不能保證回收氫氣質量，而回收氫氣質量作為影響多晶硅質量的關鍵因素之一，這將直接導致產品質量及產量明顯下滑。在尾氣回收系統(tǒng)中，吸附柱對回收的氫氣質量有較大的影響。?

發(fā)明內容

本實用新型的發(fā)明目的在于：針對上述存在的問題，提供一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網裝置，能夠利用因故障停車的尾氣回收系統(tǒng)中可以正常運行的吸附柱來進行回收氫氣的吸附，有效的降低正常運行的尾氣回收系統(tǒng)中吸附柱的負荷，提升尾氣處理量和回收氫氣質量，同時，在正常工況下也可以對不同系統(tǒng)（如還原系統(tǒng)和氫化系統(tǒng)）之間的吸附負荷做一個再分配和優(yōu)化，提升回收氫吸附質量，從而達到提高產品質量的目的。

本實用新型采用的技術方案如下：

一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網裝置，包括回收系統(tǒng)Ⅰ和回收系統(tǒng)Ⅱ，所述回收系統(tǒng)Ⅰ包含有換熱器Ⅰ、吸附柱Ⅰ和之間連接的管道Ⅰ，所述回收系統(tǒng)Ⅱ包含有換熱器Ⅱ、吸附柱Ⅱ和之間連接的管道Ⅱ；所述管道Ⅰ和管道Ⅱ通過設置帶有閥門Ⅰ的管道Ⅲ連通；所述管道Ⅰ上設置閥門Ⅱ，所述閥門Ⅱ位于換熱器Ⅰ和管道Ⅲ之間；所述管道Ⅱ上設置閥門Ⅴ，所述閥門Ⅴ位于換熱器Ⅱ和管道Ⅲ之間。

作為優(yōu)選方式，所述管道Ⅲ為不銹鋼鋼管。

作為優(yōu)選方式，所述管道Ⅰ上設置閥門Ⅲ，所述閥門Ⅲ位于管道Ⅲ和吸附柱Ⅰ之間。

作為優(yōu)選方式，所述管道Ⅱ上設置閥門Ⅵ，所述閥門Ⅵ位于管道Ⅲ和吸附柱Ⅱ之間。

作為優(yōu)選方式，所述閥門Ⅰ、閥門Ⅱ、閥門Ⅲ、閥門Ⅴ和閥門Ⅵ均為球閥。

作為優(yōu)選方式，所述閥門Ⅰ、閥門Ⅱ、閥門Ⅲ、閥門Ⅴ和閥門Ⅵ均為不銹鋼球閥。

作為優(yōu)選方式，所述閥門Ⅰ與管道Ⅲ采用法蘭連接；所述閥門Ⅱ和閥門Ⅲ均與管道Ⅰ采用法蘭連接；所述閥門Ⅴ和閥門Ⅵ均與管道Ⅱ采用法蘭連接。

回收系統(tǒng)中的回收氫氣從換熱器輸送至吸附柱。帶有閥門Ⅰ的管道Ⅲ為氫氣進入不同回收系統(tǒng)的吸附柱提供了可控制的通道；通過閥門Ⅱ、閥門Ⅴ和可以控制氫氣進入吸附柱而不進入其他的設備（如換熱器）；設置閥門Ⅲ和閥門Ⅵ則可以實現選擇性的單獨或同時使用吸附柱Ⅰ或吸附柱Ⅱ，使得操作方案更加靈活；管道Ⅲ、閥門Ⅰ、閥門Ⅱ、閥門Ⅲ、閥門Ⅴ和閥門Ⅵ，選用不銹鋼管道和不銹鋼閥門，能有效避免因氫氣中的氯化氫的強腐蝕性而導致管道腐蝕和因腐蝕帶來金屬雜質導致氫氣質量的降低；閥門Ⅰ、閥門Ⅱ、閥門Ⅲ、閥門Ⅴ和閥門Ⅵ全部采用球閥提高了操作的可靠性；閥門和管道間采用法蘭連接提高了靈活性，便于維護和更換。

由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果是：

本實用新型的一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網裝置，結構簡單，設計巧妙，成本低廉，實現了能夠利用因故障停車的尾氣回收系統(tǒng)中可以正常運行的吸附柱來進行回收氫氣的吸附，有效的降低正常運行的尾氣回收系統(tǒng)中吸附柱的負荷，提升尾氣處理量和回收氫氣質量，同時，在正常工況下也可以對回收系統(tǒng)Ⅰ和回收系統(tǒng)Ⅱ的吸附負荷做一個再分配和優(yōu)化，提升回收氫吸附質量，從而達到提高產品質量的目的。

附圖說明

圖1是本實用新型結構示意圖。

圖中標記：1-換熱器Ⅰ、2-吸附柱Ⅰ、3-管道Ⅰ、4-換熱器Ⅱ、5-吸附柱Ⅱ、6-管道Ⅱ、7-管道Ⅲ、8-閥門Ⅰ、9-閥門Ⅱ、10-閥門Ⅲ、11-閥門Ⅴ、12-閥門Ⅵ。

具體實施方式

下面結合附圖，對本實用新型作詳細的說明。