[實用新型]一種多晶硅尾氣回收系統吸附柱并網裝置

有效

• 申請號: 201220188314.5
• 申請日: 2012-04-28
• 公開（公告）號: CN202654903U
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發明（設計）人: 羅邦彥
• 申請（專利權）人: 四川瑞能硅材料有限公司
• 主分類號: B01D53/04
• 分類號: B01D53/04;C01B3/56
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 詹永斌;錢成岑

1.一種多晶硅尾氣回收系統吸附柱并網裝置，包括回收系統Ⅰ和回收系統Ⅱ，所述回收系統Ⅰ包含有換熱器Ⅰ（1）、吸附柱Ⅰ（2）和之間連接的管道Ⅰ（3），所述回收系統Ⅱ包含有換熱器Ⅱ（4）、吸附柱Ⅱ（5）和之間連接的管道Ⅱ（6），其特征在于：所述管道Ⅰ（3）和管道Ⅱ（6）通過設置帶有閥門Ⅰ（8）的管道Ⅲ（7）連通；所述管道Ⅰ（3）上設置閥門Ⅱ（9），所述閥門Ⅱ（9）位于換熱器Ⅰ（1）和管道Ⅲ（7）之間；所述管道Ⅱ（6）上設置閥門Ⅴ（11），所述閥門Ⅴ（11）位于換熱器Ⅱ（4）和管道Ⅲ（7）之間。

2.如權利要求1所述的多晶硅尾氣回收系統吸附柱并網裝置，其特征在于：所述管道Ⅲ（7）為不銹鋼鋼管。

3.如權利要求1所述的多晶硅尾氣回收系統吸附柱并網裝置，其特征在于：所述管道Ⅰ（3）上設置閥門Ⅲ（10），所述閥門Ⅲ（10）位于管道Ⅲ（7）和吸附柱Ⅰ（2）之間。

4.如權利要求1或3所述的多晶硅尾氣回收系統吸附柱并網裝置，其特征在于：所述管道Ⅱ（6）上設置閥門Ⅵ（12），所述閥門Ⅵ（12）位于管道Ⅲ（7）和吸附柱Ⅱ（5）之間。

5.如權利要求4所述的多晶硅尾氣回收系統吸附柱并網裝置，其特征在于：所述閥門Ⅰ（8）、閥門Ⅱ（9）、閥門Ⅲ（10）、閥門Ⅴ（11）和閥門Ⅵ（12）均為球閥。

6.如權利要求5所述的多晶硅尾氣回收系統吸附柱并網裝置，其特征在于：所述閥門Ⅰ（8）、閥門Ⅱ（9）、閥門Ⅲ（10）、閥門Ⅴ（11）和閥門Ⅵ（12）均為不銹鋼球閥。

7.如權利要求5或6所述的多晶硅尾氣回收系統吸附柱并網裝置，其特征在于：所述閥門Ⅰ（8）與管道Ⅲ（7）采用法蘭連接；所述閥門Ⅱ（9）和閥門Ⅲ（10）均與管道Ⅰ（3）采用法蘭連接；所述閥門Ⅴ（11）和閥門Ⅵ（12）均與管道Ⅱ（6）采用法蘭連接。