[實用新型]金屬光罩

有效

• 申請號: 201220181330.1
• 申請日: 2012-04-20
• 公開（公告）號: CN202548531U
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 陳學哲
• 申請（專利權）人: 世禾科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/673
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 馮志云;呂俊清

技術領域

本實用新型涉及一種金屬光罩的技術領域，尤其涉及一種增加花紋于金屬光罩表面，在使用于各式顯示器或觸控面板的玻璃基板的制程中，所增加花紋能延長金屬光罩的替換周期、提升生產的品質、以及降低生產的成本。

背景技術

在目前各式顯示器或觸控面板之中，例如液晶顯示器、薄型化顯示器、液晶電視、薄型化電視機、觸控面板、觸控顯示器、具有觸控功能的銀幕...等中，會利用光罩在制程中于玻璃基板上沉積出一些不同材料的薄膜，而過程中包含涂布、曝光、蝕刻、顯影、清洗、烘烤等步驟，利用多個不同的光罩依序運作，一層一層規劃出所設計的結構。光罩成本中最高的是采用石英材料，此類光罩能滿足精密度要求嚴格的制程條件，但在一些精密度求不高的制程中，若采用石英材料的光罩，成本太高，制程過于復雜，因此有些SiO₂沉積制程則采用金屬光罩，如此就能取代涂布、曝光、蝕刻、顯影、清洗、烘烤等制程，減少加工流程，降低生產的成本。而對生產廠商而言，亦能減少購買前述涂布、曝光、蝕刻、顯影、清洗、烘烤等設備的數量，對設備投資的支出相對減少。

一般金屬光罩的要求，主要包括有三點：1.厚度要薄；2.具有受磁性，以利具有磁性的夾持裝置與的吸附，而將欲加工的玻璃基板固定于金屬光罩與夾持裝置之間；3.表面須光滑、無毛邊，避免在夾持或制程運作中刮傷玻璃基板。

然而傳統的金屬光罩為避免刮傷玻璃基板，兩相對表面皆為光滑表面，在制程中沉積于基板的薄膜材料也會沉積于金屬光罩表面，隨著金屬光罩連續使用并沉積，金屬光罩表面所累積的薄膜厚度也增加，此時光滑表面就容易讓貼附表面的薄膜在制程中剝離，掉落至原本欲加工的玻璃基板上，而產生不良品，因此為維持生產的良率，就必須一段時間后，取出并委托外部專業公司清洗，以延續金屬光罩的使用壽命，如此會降低設備稼動率，亦減少設備的產能；加上單一金屬光罩的單價也相當昂貴，取出次數愈多，不當操作而產生破損機率也愈高。有鑒于此，本實用新型提出一金屬光罩。

發明內容

本實用新型的主要目的是能于特定表面提高其表面積與粗糙度的金屬光罩，主要是于金屬光罩一表面處形成有立體花紋，期許于生產制程中提升所能承受的沉積次數、延長替換周期，讓使用此金屬光罩的設備的稼動率上升，產能提升，同步能減少生產的成本。

為達上述的目的，本實用新型提出一種金屬光罩，其形狀為一框體，該框體形成有至少為一的開口單元，該金屬光罩包括有能與玻璃基板接觸的第一表面，及位置為第一表面相對面的第二表面，該第一表面為光滑面，該第二表面上形成有至少為一的非平坦區，該非平坦區位置鄰近該開口單元，非平坦區內分布著立體的花紋。

在本實用新型一實施例中，該非平坦區是呈環狀分布于該開口單元外圍的第二表面處。

在本實用新型一實施例中，該非平坦區是由連續性的花紋分布于該環狀區域內。

在本實用新型一實施例中，該非平坦區內分布著相同且重復性的花紋。

在本實用新型一實施例中，該非平坦區是采化學蝕刻制程于第二表面處加工而成的非平坦區。

在本實用新型一實施例中，該非平坦面分布于該第二表面的局部區域。

在本實用新型一實施例中，該非平坦面分布區域涵蓋整個第二表面。

在本實用新型一實施例中，該金屬光罩的厚度介于0.15～0.7mm。

在本實用新型一實施例中，該金屬光罩的厚度介于0.25～0.5mm。

本實用新型在金屬光罩上形成有立體的花紋，主要目的能增加表面積及提高粗糙度。增加表面積能提高表面所能承受的沉積的次數，延長此金屬光罩的使用周期，降低替換率，亦減少設備停機更換的次數，提高設備稼動率。而提高表面粗糙度能避免制程中附著金屬光罩表面的材料發生不正常的剝離，降低不良率，使品質提升。

以下配合附圖及元件符號對本實用新型的實施方式做更詳細的說明，以使本領域普通技術人員在研讀本說明書后能據以實施。

附圖說明

圖1為本實用新型的平面圖；

圖2A為本實用新型局部放大的平面圖；

圖2B為本實用新型局部放大的立體圖；

圖3為本實用新型非平坦區的第二種花紋的平面示意圖；

圖4為本實用新型非平坦區的第三種花紋的平面示意圖；

圖5為本實用新型非平坦區的第四種花紋的平面示意圖。

其中，附圖標記說明如下：

金屬光罩????1

開口單元????11

第一表面????13

第二表面????14