[實用新型]金屬光罩

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220181330.1
• 申請日: 2012-04-20
• 公開（公告）號: CN202548531U
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳學(xué)哲
• 申請（專利權(quán)）人: 世禾科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/673
• 代理公司: 隆天國際知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 馮志云;呂俊清

1.一種金屬光罩，為一框體并形成有至少為一的開口單元，該金屬光罩包括有能與玻璃基板接觸的第一表面，及位置為該第一表面相對面的第二表面，該第一表面為光滑面，其特征在于：該第二表面上形成有至少為一的非平坦區(qū)，該非平坦區(qū)位置鄰近該開口單元，該非平坦區(qū)內(nèi)分布著立體的花紋。

2.如權(quán)利要求1所述的金屬光罩，其特征在于，該非平坦區(qū)是呈環(huán)狀分布于該開口單元外圍的第二表面處。

3.如權(quán)利要求2所述的金屬光罩，其特征在于，該非平坦區(qū)是由連續(xù)性的花紋分布于該環(huán)狀區(qū)域內(nèi)。

4.如權(quán)利要求1所述的金屬光罩，其特征在于，該非平坦區(qū)內(nèi)分布著相同且重復(fù)性的花紋。

5.如權(quán)利要求1所述的金屬光罩，其特征在于，該非平坦區(qū)是采化學(xué)蝕刻制程于第二表面處加工而成的非平坦區(qū)。

6.如權(quán)利要求1所述的金屬光罩，其特征在于，該非平坦面分布于該第二表面的局部區(qū)域。

7.如權(quán)利要求1所述的金屬光罩，其特征在于，該非平坦面分布區(qū)域涵蓋整個第二表面。

8.如權(quán)利要求1所述的金屬光罩，其特征在于，該金屬光罩的厚度介于0.15～0.7mm。

9.如權(quán)利要求8所述的金屬光罩，其特征在于，該金屬光罩的厚度介于0.25～0.5mm。?