[實(shí)用新型]用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220178741.5
• 申請(qǐng)日: 2012-04-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202643919U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-01-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊華;余義;宋光華;李莊
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上澎太陽(yáng)能科技(嘉興)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B33/10
• 分類(lèi)號(hào): C30B33/10
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所 31263
• 代理人: 李獻(xiàn)忠

1.用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置，其包括化學(xué)處理槽和化學(xué)品供應(yīng)罐，所述化學(xué)處理槽和所述化學(xué)品供應(yīng)罐通過(guò)管道連接，其特征在于，所述化學(xué)處理槽包括內(nèi)槽和外槽。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置，其特征在于，所述內(nèi)槽和所述外槽為一整體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置，其特征在于，所述內(nèi)槽和所述外槽通過(guò)管道連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置，其特征在于，所述管道上設(shè)置有循環(huán)泵。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置，其特征在于，所述管道上還設(shè)置有一過(guò)濾器。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置，其特征在于，所述管道設(shè)置有液體排出口，所述排出口位于所述內(nèi)槽中。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置，其特征在于，所述液體排出口為兩個(gè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置，其特征在于，所述化學(xué)處理槽底部設(shè)置有加熱器。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置，其特征在于，所述化學(xué)處理槽側(cè)面底部圍繞有導(dǎo)管。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于硅片制絨前的預(yù)處理裝置，其特征在于，所述導(dǎo)管與冷卻水供應(yīng)罐連接。