[實用新型]一種硅片切割液回收過程中的脫水系統

有效

• 申請號: 201220177648.2
• 申請日: 2012-04-25
• 公開（公告）號: CN202543165U
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發明（設計）人: 方漢春;朱榮興
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛硅晶材料有限公司
• 主分類號: C10M175/00
• 分類號: C10M175/00
• 代理公司: 杭州之江專利事務所(普通合伙) 33216
• 代理人: 林蜀

技術領域

本實用新型涉及一種硅片切割液回收過程中的脫水系統。

背景技術

目前，在硅片切割液回收過程中需要經過脫水工藝，該工藝是將儲罐中的硅片切割液（溫度在30℃左右）送入脫水釜中，經過升溫加熱進行脫水，然后將經過脫水的硅片切割液（溫度在115℃左右）打入降溫釜中降溫（溫度在40℃左右）后再進行包裝；這種方法不僅冷卻時間需要3～4小時，還需要消耗電能，使用大量的循環水。

發明內容

本實用新型的目的是提供提高脫水進料溫度，縮短脫水時間，降低能耗，減少循環水用量和冷卻時間的一種硅片切割液回收過程中的脫水系統。

本實用新型采取的技術方案是：一種硅片切割液回收過程中的脫水系統，其特征在于它包括脫水前液儲罐、脫水釜、板式換熱器和降溫釜，脫水前液儲罐通過管路經過板式換熱器循環連接后再與脫水釜連接；脫水釜通過管路連接板式換熱器后再與降溫釜連接。

采用本實用新型，既利用脫水前的硅片切割液給脫水后的硅片切割液進行了冷卻降溫，又利用脫水后的硅片切割液對脫水前的硅片切割液進行了加熱升溫；經過實際使用對比，使原來放到降溫釜的脫水后液的溫度從80℃左右直降到60℃以下，原來的脫水前液的溫度從30℃左右升高到55℃以上，既縮短了脫水后液的降溫時間和冷卻循環水的使用，又大大減少脫水液升溫脫水的時間和蒸汽的消耗。

附圖說明

圖1是本實用新型示意圖。

圖中序號表示：脫水釜1、管路2、板式換熱器3、脫水前液儲罐4和降溫釜5。

具體實施方式

下面結合具體的實施例對本實用新型作進一步說明。

參照圖1，該硅片切割液回收過程中的脫水系統包括脫水前液儲罐4、脫水釜1、板式換熱器3和降溫釜5，脫水前液儲罐4經過管路連接通過板式換熱器3后再連接到脫水前液儲罐4，脫水釜1通過管路2連接板式換熱器3后再與降溫釜5連接。這樣，既給脫水后的硅片切割液進行了冷卻降溫，又對脫水前的硅片切割液進行了加熱升溫；經過實際使用對比，使原來放到降溫釜的脫水后液的溫度從80℃左右直降到60℃以下，原來的脫水前液的溫度從30℃左右升高到55℃以上，既縮短了脫水后液的降溫時間和冷卻循環水的使用，又大大減少脫水液升溫脫水的時間和蒸汽的消耗。