[實用新型]一種硅片切割液回收過程中的脫水系統有效
| 申請號： | 201220177648.2 | 申請日： | 2012-04-25 |
| 公開（公告）號： | CN202543165U | 公開（公告）日： | 2012-11-21 |
| 發明（設計）人： | 方漢春;朱榮興 | 申請（專利權）人： | 浙江晶盛硅晶材料有限公司 |
| 主分類號： | C10M175/00 | 分類號： | C10M175/00 |
| 代理公司： | 杭州之江專利事務所(普通合伙) 33216 | 代理人： | 林蜀 |
| 地址： | 324300 浙江省衢州*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 切割 回收 過程 中的 脫水 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片切割液回收過程中的脫水系統，其特征在于它包括脫水前液儲罐、脫水釜、板式換熱器和降溫釜，脫水前液儲罐通過管路經過板式換熱器循環連接后再與脫水釜連接；脫水釜通過管路連接板式換熱器后再與降溫釜連接。
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