[實用新型]一種太陽能石英硅片擴散舟有效
| 申請號: | 201220177029.3 | 申請日: | 2012-04-23 | 
| 公開(公告)號: | CN202678294U | 公開(公告)日: | 2013-01-16 | 
| 發明(設計)人: | 沈彪;李向清;胡德良 | 申請(專利權)人: | 江蘇愛多光伏科技有限公司 | 
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L31/18 | 
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 | 
| 地址: | 214423 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽能 石英 硅片 擴散 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種太陽能電池硅片生產的專用設備,具體涉及一種太陽能石英硅片擴散舟。?
背景技術
太陽能光伏板用石英硅片舟又稱太陽能光伏板用石英擴散舟,如圖1所示,它由主架101、下槽棒102、上槽棒103和硅片104組成,下槽棒102和上槽棒103固定在主架101上,硅片104的左右二邊插套在二根上槽棒103的插孔1031中,硅片104的底部插套在下槽棒102的底孔1021中。其不足之處是,由于上槽棒103的插孔1031的底部為直線平底L,當硅片104插入時,易與上槽棒103發生崩片性接觸。?
實用新型內容
本實用新型的目的在于克服現有技術中存在的缺陷,提供一種太陽能石英硅片擴散舟,它在硅片生產廠商的工作人員操作硅片插入時,減少了硅片的崩片率。?
為實現上述目的,本實用新型的技術方案是設計一種太陽能石英硅片擴散舟,由主架、下槽棒、上槽棒和硅片組成,下槽棒和上槽棒固定在主架上,硅片的底部插套在下槽棒的底孔中,硅片的左右二邊插套在二根上槽棒的插孔中,其特征在于,在所述上槽棒的插孔的底部設有球面過渡段,在所述球面過渡段上鑲嵌有耐磨層。?
其中優選的技術方案是,所述下槽棒的底孔與垂直向呈5°夾角,上槽棒的插孔走向與垂直向呈5°夾角。?
本實用新型的優點和有益效果在于:該太陽能石英硅片擴散舟,它在硅片生產廠商的工作人員操作硅片插入時,減少了硅片的崩片率,經統計本實用新型可以降低千分之一的崩片率。?
附圖說明
圖1為現有太陽能石英硅片擴散舟的結構示意圖;?
圖2為本實用新型太陽能石英硅片擴散舟的分解示意圖;?
圖3為本實用新型太陽能石英硅片擴散舟的結構示意圖;?
圖4為太陽能石英硅片擴散舟中上槽棒的局部剖視圖;?
圖5為圖3的A-A處的剖視圖;?
圖6為太陽能石英硅片擴散舟中下槽棒的底孔的結構示意圖;?
圖7為圖4的B-B處的剖視圖。?
具體實施方式
下面結合附圖和實施例,對本實用新型的具體實施方式作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案,而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。?
如圖2~7所示,本實用新型是一種太陽能石英硅片擴散舟,由主架1、下槽棒2、上槽棒3和硅片4組成,下槽棒2和上槽棒3固定在主架1上,硅片4的底部插套在下槽棒2的底孔21中,硅片4的左右二邊插套在二根上槽棒3的插孔31中,在所述上槽棒3的插孔31的底部設有球面過渡段311,在所述球面過渡段上鑲嵌有耐磨層312。?
所述下槽棒2的底孔21與垂直向呈5°夾角,上槽棒3的插孔31走向與垂直向呈5°夾角.?
所述硅片4的規格為125×125mm或者156×156mm。?
工作原理:它在硅片生產廠商的工作人員操作硅片4插入上槽棒3的插孔31時,由于槽棒3的插孔31的底部具有球面過渡段311及耐磨層312。與現有技術中直線平底L相比,本實用新型的球面過渡段311及耐磨層312能起到力的緩沖和耐磨的作用,這樣當硅片4與上槽棒3插套接觸時,可以降低千分之一的崩片率。?
以上所述僅是本實用新型的優選實施方式,應當指出,對于本技術領域的普通技術人員來說,在不脫離本實用新型技術原理的前提?下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。?
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





