[實用新型]氣體噴灑模塊

有效

• 申請號: 201220176888.0
• 申請日: 2012-04-24
• 公開（公告）號: CN202610323U
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發明（設計）人: 王慶鈞;黃智勇;陳建志;簡榮禎;蔡陳德;林龔樑
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 湯保平

技術領域

本實用新型是有關于一種氣體噴灑模塊，且特別是有關于一種具有氣體分布板，能使氣體更均勻地噴出的氣體噴灑模塊。

背景技術

隨著鍍膜工藝的發展，在化學氣相沉積的反應過程中，如何將氣體均勻地噴灑到腔室中便成為重要的問題。對此，氣體噴灑模塊(gas?shower?module)，特別是氣體噴灑頭(gas?showerhead)扮演了重要的角色。

針對氣體噴灑模塊或氣體噴灑頭的設計與結構，已經有多種專利提出。美國專利US?7138336B2與美國專利US?7641939B2采用噴灑頭進氣、腔室側邊抽氣的方式控制氣體進出。美國專利US?6921437揭露一種可預先混合先驅氣體的氣體分布模塊，但不適用于先驅氣體不可預先混合的工藝。美國專利US?6478872揭露一種將氣體輸送至腔室的方法，以及用于輸送氣體的噴灑頭。然而該設計的構造復雜，且制造成本昂貴。

實用新型內容

本實用新型提供一種氣體噴灑模塊，相較于已知的氣體噴灑模塊可更均勻地噴灑氣體。

本實用新型提出一種氣體噴灑模塊，包括噴灑頭主體、供氣板、氣體分布板以及氣體噴灑板。噴灑頭主體具有氣體噴灑面與相對氣體噴灑面的進氣面。供氣板設于噴灑頭主體的進氣面，其中供氣板具有至少一第一氣孔。氣體分布板設于氣體噴灑面與進氣面之間的噴灑頭主體內，其中氣體分布板具有多個第二氣孔。氣體噴灑板設于噴灑頭主體的氣體噴灑面，其中氣體噴灑板具有多個第三氣孔，使一氣體經由供氣板的第一氣孔流入噴灑頭主體內，并經氣體分布板的第二氣孔擴散至氣體噴灑板，再自第三氣孔噴出。供氣板與氣體分布板的間距在7mm-9mm之間。氣體分布板與氣體噴灑板的間距在7mm-9mm之間。第一氣孔的數量與第二氣孔的數量的比例在1∶4-1∶100之間。第二氣孔的數量與第三氣孔的數量的比例在1∶4-1∶100之間。第二氣孔的數量在900個-1050個之間。第二氣孔是沿氣體分布板的表面上的兩垂直方向呈45度角對稱分布。

在本實用新型的一實施例中，上述的第一氣孔與第二氣孔非相對設置。

在本實用新型的一實施例中，上述的第二氣孔與第三氣孔非相對設置。

在本實用新型的一實施例中，上述的供氣板與氣體分布板互相平行。

在本實用新型的一實施例中，上述的氣體分布板與氣體噴灑板互相平行。

在本實用新型的一實施例中，上述的第一氣孔的直徑在1.5mm-9mm之間。

在本實用新型的一實施例中，上述的第二氣孔的直徑在1.5mm-9mm之間。

在本實用新型的一實施例中，上述的第三氣孔的直徑在1.5mm-9mm之間。

本實用新型的有益效果是：相較于已知的氣體噴灑模塊可更均勻地噴灑氣體。

附圖說明

為讓本實用新型的上述特征能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合附圖作詳細說明如下，其中：

圖1是依照本實用新型一實施例所繪示的氣體噴灑模塊示意圖。

圖2A是依照本實用新型一實施例所繪示的進氣板俯視圖。

圖2B是依照本實用新型一實施例所繪示的氣體分布板俯視圖。

圖2C是依照本實用新型一實施例所繪示的氣體噴灑板俯視圖。

圖3A是依照本實用新型另一實施例所繪示的進氣板俯視圖。

圖3B是依照本實用新型另一實施例所繪示的氣體分布板俯視圖。

圖3C是依照本實用新型另一實施例所繪示的氣體噴灑板俯視圖。

具體實施方式

圖1是依照本實用新型一實施例所繪示的氣體噴灑模塊的示意圖。請參照圖1。氣體噴灑模塊100包括噴灑頭主體102、供氣板104、氣體分布板106以及氣體噴灑板108。噴灑頭主體102具有氣體噴灑面102a以及相對氣體噴灑面102a的進氣面102b。供氣板104設置于進氣面102b，其中供氣板104具有第一氣孔104a。氣體分布板106設置于噴灑頭主體102內位于氣體噴灑面102a與進氣面102b之間，其中氣體分布板106具有多個第二氣孔106a。氣體噴灑板108設置于氣體噴灑面102a，其中氣體噴灑板108具有多個第三氣孔108a。