[實用新型]氣體噴灑模塊

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220176888.0
• 申請日: 2012-04-24
• 公開（公告）號: CN202610323U
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王慶鈞;黃智勇;陳建志;簡榮禎;蔡陳德;林龔樑
• 申請（專利權(quán)）人: 財團法人工業(yè)技術(shù)研究院
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 湯保平

1.一種氣體噴灑模塊，其特征在于，包括：

一噴灑頭主體，具有一氣體噴灑面與相對該氣體噴灑面的一進氣面；

一供氣板，設(shè)于該噴灑頭主體的該進氣面，其中該供氣板具有至少一第一氣孔；

一氣體分布板，設(shè)于該氣體噴灑面與該進氣面之間的該噴灑頭主體內(nèi)，其中該氣體分布板具有多個第二氣孔；以及

一氣體噴灑板，設(shè)于該噴灑頭主體的該氣體噴灑面，其中該氣體噴灑板具有多個第三氣孔，使一氣體經(jīng)由該供氣板的該第一氣孔流入該噴灑頭主體內(nèi)，并經(jīng)該氣體分布板的所述第二氣孔擴散至該氣體噴灑板，再自所述第三氣孔噴出，

該供氣板與該氣體分布板的間距在7mm-9mm之間，

該氣體分布板與該氣體噴灑板的間距在7mm-9mm之間，

該第一氣孔的數(shù)量與所述第二氣孔的數(shù)量的比例在1∶4-1∶100之間，

所述第二氣孔的數(shù)量與所述第三氣孔的數(shù)量的比例在1∶4-1∶100之間，

所述第二氣孔的數(shù)量在900個-1050個之間，

所述第二氣孔是沿該氣體分布板的表面上的兩垂直方向呈45度角對稱分布。

2.如權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，其中該第一氣孔與所述第二氣孔為彼此錯位、并非相對設(shè)置。

3.如權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，其中所述第二氣孔與所述第三氣孔為彼此錯位、并非相對設(shè)置。

4.如權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，其中該供氣板與該氣體分布板互相平行。

5.如權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，其中該氣體分布板與該氣體噴灑板互相平行。

6.如權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，其中該第一氣孔的直徑在1.5mm-9mm之間。

7.如權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，其中各該第二氣孔的直徑在1.5mm-9mm之間。

8.如權(quán)利要求1所述的氣體噴灑模塊，其特征在于，其中各該第三氣孔的直徑在1.5mm-9mm之間。