[實用新型]氣體過濾處理結構、尾氣處理系統有效
| 申請號： | 201220175883.6 | 申請日： | 2012-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN202590560U | 公開（公告）日： | 2012-12-12 |
| 發明（設計）人： | 孫仁君;田益西 | 申請（專利權）人： | 光達光電設備科技（嘉興）有限公司 |
| 主分類號： | B01D50/00 | 分類號： | B01D50/00;C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 314300 浙江省嘉興市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體 過濾 處理 結構 尾氣 系統 | ||
1.一種氣體過濾處理結構，包括彎管，所述彎管的一端與上游反應腔室相連接，另一端與帶有濾芯的過濾器相連接，其特征在于，所述彎管的轉彎處設置有預收集過濾部件，所述預收集過濾部件沿氣體流動的方向設置，所述預收集過濾部件的一端與彎管相連接，另一端封閉，用于對氣體中的顆粒進行預收集過濾處理。
2.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述彎管上游設置有冷卻結構，所述冷卻結構用于對來自反應腔室的氣體進行冷卻處理，所述預收集過濾部件對所述冷卻結構冷卻后的氣體進行預收集過濾處理。
3.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述預收集過濾部件與所述彎管結合為一體或可以相互分離。
4.如權利要3所述的氣體過濾結構，其特征在于，所述預收集過濾部件采用一體成型的方式制作。
5.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述預收集過濾部件為管狀。
6.如權利要求4所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述預收集過濾部件內還設置有過濾網或濾芯。
7.如權利要求6所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述過濾網或濾芯能夠與所述預處理過濾部件相互分離。
8.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述預收集過濾部件的一端與所述彎管通過可拆卸聯接方式結合為一體，所述預收集過濾部件的另一端封閉或所述預收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得預收集過濾部件形成容納顆粒物質的空間。?
9.如權利要求1所述的氣體過濾處理結構，其特征在于，所述預收集過濾部件的一端與所述彎管結合為一體，所述預收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得所述預收集過濾部件形成容納顆粒物質的空間。
10.一種用于化學氣相沉積工藝的尾氣處理系統，其特征在于，包括如權利要求1所述的氣體過濾處理結構。?
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