[實用新型]氣體過濾處理結構、尾氣處理系統

有效

• 申請號: 201220175883.6
• 申請日: 2012-04-23
• 公開（公告）號: CN202590560U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 孫仁君;田益西
• 申請（專利權）人: 光達光電設備科技（嘉興）有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00;C23C16/44
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

技術領域

本實用新型涉及化學氣相沉積(CVD)技術領域，特別涉及用于化學氣相沉積工藝的氣體過濾處理結構、尾氣處理系統。

背景技術

MOCVD(Metal-Organic?Chemical?Vapor?Deposition)是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種化學氣相外延沉積工藝。它以III族、II族元素的有機化合物和V、VI族元素的氫化物等作為晶體生長的源材料，以熱分解反應方式在石墨盤上進行沉積工藝，生長各種III-V族、II-VI族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。

在化學氣相工藝過程中反應腔室中氣體需要經過過濾系統，將氣體中的顆粒等物質過濾，然后經過相應的化學處理過后才能向外部排放。具體地，請結合圖1所示的現有的MOCVD設備的尾氣處理系統的結構示意圖。彎管30的一端與上游反應腔室10相連接，另一端與下游過濾器20相連，所述彎管30與過濾器20共同構成了MOCVD設備的過濾系統。來自上游反應腔室10的氣體經過彎管30進入過濾器20，經過過濾器20過濾后的氣體流向對應的化學處理部件。

在實際中，發現現有的MOCVD設備的利用率(uptime)偏低，無法滿足應用的要求。

實用新型內容

本實用新型實施例解決的問題是提供了用于化學氣相沉積工藝的氣體過濾處理結構、尾氣處理系統、延長MOCVD設備的尾氣處理系統的過濾器的濾芯的使用壽命的方法和MOCVD設備的尾氣處理方法，減小了流向下游過濾器的濾芯中的顆粒，從而延長了過濾器以及濾芯的使用周期，減少了化學氣相沉積設備(包括MOCVD設備)因為清洗和或/更換過濾器而產生的停機時間，因而提高了化學氣相沉積設備的利用率。

為了解決上述問題，本實用新型提供一種氣體過濾處理結構，包括彎管，所述彎管的一端與上游反應腔室相連接，另一端與帶有濾芯的過濾器相連接，所述彎管的轉彎處設置有預收集過濾部件，所述預收集過濾部件沿氣體流動的方向設置，所述預收集過濾部件的一端與彎管相連接，另一端封閉，用于對氣體中的顆粒進行預收集過濾處理。

可選地，所述氣體過濾處理結構用于MOCVD設備的尾氣處理系統。

可選地，所述彎管上游設置有冷卻結構，所述冷卻結構用于對來自反應腔室的氣體進行冷卻處理，所述預收集過濾部件對所述冷卻結構冷卻后的氣體進行預收集過濾處理。

可選地，所述預收集過濾部件與所述彎管結合為一體或可以相互分離。

可選地，所述預收集過濾部件采用一體成型的方式制作。

可選地，所述預收集過濾部件為管狀。

可選地，所述預收集過濾部件內還設置有過濾網或濾芯。

可選地，所述過濾網或濾芯能夠與所述預處理過濾部件相互分離。

可選地，所述預收集過濾部件的一端與所述彎管通過可拆卸聯接方式結合為一體，所述預收集過濾部件的另一端封閉或所述預收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得預收集過濾部件形成容納顆粒物質的空間。

可選地，所述預收集過濾部件的一端與所述彎管結合為一體，所述預收集過濾部件的另一端具有可拆卸的端蓋，該端蓋使得所述預收集過濾部件形成容納顆粒物質的空間。

相應地，本實用新型還提供一種用于化學氣相沉積工藝的尾氣處理系統，包括所述的氣體過濾處理結構。

與現有技術相比，本實用新型具有以下優點：

本實用新型提供的氣體過濾處理結構中設置的彎管相連接的預收集過濾部件，氣體自上游反應腔室流向下游的過濾器時，在設置于轉彎處的預收集過濾部件中進行預收集處理，氣體中的顆粒物質因為自身重力作用沉降于預收集過濾部件中，從而減少了對下游的過濾器及濾芯的沾污，延長了過濾器的使用壽命，減少了化學氣相沉積設備(包括MOCVD設備)因為清洗或更換過濾器的停機時間，因而提高了化學氣相沉積設備的利用率；

進一步優化地，所述彎管的上游設置有冷卻結構，該冷卻結構能夠對氣體進行冷卻，有利于氣體中的顆粒凝結，從而預收集過濾部件能夠收集更多的顆粒，進一步減少流向下游的過濾器及濾芯的顆粒，進一步延長過濾器的使用壽命；