[實用新型]一種干刻機的上電極結構有效
| 申請號： | 201220169321.0 | 申請日： | 2012-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN202663641U | 公開（公告）日： | 2013-01-09 |
| 發明（設計）人： | 鄭建博 | 申請（專利權）人： | 彩虹(佛山)平板顯示有限公司 |
| 主分類號： | H05H1/34 | 分類號： | H05H1/34;H01J37/305;C23F4/00;C30B33/12;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 田洲 |
| 地址： | 528300 廣東省佛*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 干刻機 電極 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種干刻機的上電極結構，其特征在于，包括電極板(1)和設置于電極板(1)上的九個線圈(2)。
2.根據權利要求1所述的一種干刻機的上電極結構，其特征在于，所述九個線圈(2)呈矩陣式排列。
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