[實(shí)用新型]一種在腔室內(nèi)檢測有機(jī)膜層結(jié)構(gòu)的橢偏儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220169282.4
• 申請日: 2012-04-19
• 公開（公告）號: CN202599816U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 包欣
• 申請（專利權(quán)）人: 彩虹(佛山)平板顯示有限公司
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21;G01B11/06
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 陸萬壽

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種在腔室內(nèi)檢測有機(jī)膜層結(jié)構(gòu)的橢偏儀，主要應(yīng)用于真空腔室內(nèi)或惰性氣體環(huán)境下檢測玻璃基板表面的有機(jī)膜層結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

目前一般采用橢偏儀對有機(jī)膜層的結(jié)構(gòu)進(jìn)行檢測，橢偏儀包括底座、載物臺以及檢測系統(tǒng)，檢測系統(tǒng)主要包括光源、起偏器、檢偏器、光電倍增管以及接口電路，接口電路與計(jì)算機(jī)相連實(shí)現(xiàn)檢測結(jié)果的自動(dòng)處理與輸出。

由于玻璃基板的面積較大，檢測中需要移動(dòng)玻璃基板以配合橢偏儀，因此，在玻璃基板上蒸鍍完有機(jī)材料后，需要將鍍好的玻璃基板從真空腔室內(nèi)取出進(jìn)行檢測，費(fèi)時(shí)費(fèi)力，降低了檢測效率，同時(shí)，在大氣環(huán)境中，有機(jī)材料對水、氧氣非常敏感，檢測結(jié)果容易受到大氣環(huán)境的影響而偏離實(shí)際值，落到玻璃基板表面的顆粒也是影響檢測結(jié)果的因素之一。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種在腔室內(nèi)檢測有機(jī)膜層結(jié)構(gòu)的橢偏儀。

為了達(dá)到以上目的，本實(shí)用新型采取了以下技術(shù)方案：

包括軌道以及設(shè)置于軌道上的可以移動(dòng)的橫梁，橢偏儀的檢測系統(tǒng)設(shè)置于橫梁上。

所述軌道上設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)橫梁的線性馬達(dá)，線性馬達(dá)與馬達(dá)控制器相連。

本實(shí)用新型所述在腔室內(nèi)檢測有機(jī)膜層結(jié)構(gòu)的橢偏儀采用橫梁與軌道組成的H型結(jié)構(gòu)的軌道運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)代替現(xiàn)有橢偏儀的底座，利用軌道運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)可以將橢偏儀的檢測系統(tǒng)設(shè)置于真空腔室內(nèi)，由于橫梁可以移動(dòng)，使檢測范圍覆蓋玻璃基板表面的所有有效區(qū)域，因此，無需取出腔室內(nèi)的玻璃基板，就可對玻璃基板上蒸鍍的有機(jī)材料進(jìn)行檢測，省時(shí)省力，提高了檢測效率，同時(shí)，相比在大氣環(huán)境下進(jìn)行的檢測，腔室內(nèi)真空環(huán)境中的檢測不受水、氧氣的影響，因而使檢測結(jié)果更加接近實(shí)際值，提高了檢測的準(zhǔn)確度。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，圖中：1軌道，2橫梁，3檢測系統(tǒng)，4線性馬達(dá)，5馬達(dá)控制器。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

參見圖1，本實(shí)用新型包括軌道1以及設(shè)置于軌道1上的可以移動(dòng)的橫梁2，橢偏儀的檢測系統(tǒng)3設(shè)置于橫梁2上，所述軌道1上設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)橫梁2的線性馬達(dá)4，線性馬達(dá)4與馬達(dá)控制器5相連，可以在腔室外對橫梁的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

實(shí)施例

該橢偏儀包括互成一定角度的偏振光入射鏡頭和偏振光反射鏡頭，以及承載和控制兩個(gè)鏡頭的軌道運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。軌道運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)包含與兩個(gè)鏡頭相連的橫梁、橫梁運(yùn)動(dòng)的軌道、線性馬達(dá)以及馬達(dá)控制系統(tǒng)，軌道運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)使得兩個(gè)鏡頭能夠以對稱位置進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。

兩個(gè)鏡頭都朝上，以便于在腔室內(nèi)直接檢測面朝下的玻璃基板表面的有機(jī)膜層。入射的光線經(jīng)過起偏器(入射鏡頭)后，變成有偏振方向的偏振光，在經(jīng)過玻璃基板表面的有機(jī)膜層反射和折射后，被反射鏡頭接收，再經(jīng)過反射鏡頭內(nèi)的偏振片感知其相位和振幅發(fā)生的變化，進(jìn)而反映出偏振光在多層有機(jī)膜表面的反射過程，通過對比已建模的數(shù)據(jù)庫從而得出有機(jī)膜層結(jié)構(gòu)和各層厚度。

本實(shí)用新型能夠直接檢測有機(jī)膜層的結(jié)構(gòu)和厚度，避免了將蒸鍍完有機(jī)膜的玻璃基板取出進(jìn)行檢測，從而消除了有機(jī)膜層短暫接觸大氣對基板特性和有機(jī)膜層結(jié)構(gòu)的影響，并能有效的提高產(chǎn)品的品質(zhì)。