[實用新型]一種在腔室內檢測有機膜層結構的橢偏儀有效
| 申請號： | 201220169282.4 | 申請日： | 2012-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN202599816U | 公開（公告）日： | 2012-12-12 |
| 發明（設計）人： | 包欣 | 申請（專利權）人： | 彩虹(佛山)平板顯示有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/21 | 分類號： | G01N21/21;G01B11/06 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 陸萬壽 |
| 地址： | 528300 廣東省佛*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 室內 檢測 有機 結構 橢偏儀 | ||
【權利要求書】：
1.一種在腔室內檢測有機膜層結構的橢偏儀，其特征在于：包括軌道(1)以及設置于軌道(1)上的可以移動的橫梁(2)，橢偏儀的檢測系統(3)設置于橫梁(2)上。
2.根據權利要求1所述一種在腔室內檢測有機膜層結構的橢偏儀，其特征在于：所述軌道(1)上設置有用于驅動橫梁(2)的線性馬達(4)，線性馬達(4)與馬達控制器(5)相連。
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