[實用新型]刻蝕電極機中的下電極裝置有效
| 申請號： | 201220156300.5 | 申請日： | 2012-04-14 |
| 公開（公告）號： | CN202816864U | 公開（公告）日： | 2013-03-20 |
| 發明（設計）人： | 游利 | 申請（專利權）人： | 靖江先鋒半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰專利事務所 32219 | 代理人： | 陸平 |
| 地址： | 214500 江蘇省泰州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 刻蝕 電極 中的 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.刻蝕電極機中的下電極裝置，包括承載盤（1）、支撐座（2），其特征在于：所述的支撐座（2）上面設置有承載盤（1），承載盤（1）與支撐座（2）按對應位置焊接為一體。
2.根據權利要求1所述的刻蝕電極機中的下電極裝置，其特征在于：所述的承載盤（1）包括冷卻液入口（15）、溝槽（11）、冷卻液出口（14）、真空通道（12）、頂針孔（13）、密封圈槽（16）、晶圓片放置平臺（17）。
3.根據權利要求1所述的刻蝕電極機中的下電極裝置，其特征在于：所述的承載盤（1）與支撐座（2）焊接時，確保承載盤（1）上的冷卻液入口（15）及冷卻液出口（14）與支撐座（2）上的冷卻液入口（15）及冷卻液出口（14）對應在相同位置上。
4.根據權利要求1所述的刻蝕電極機中的下電極裝置，其特征在于：所述的承載盤（1）的外徑尺寸與支撐座（2）的外徑尺寸相同。
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