[實用新型]單晶晶棒垂直度測試儀

有效

• 申請號: 201220152682.4
• 申請日: 2012-04-11
• 公開（公告）號: CN202599363U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 侯前偉;周俊;陳金林
• 申請（專利權）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26;G01B11/27
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

技術領域

本實用新型屬于光伏行業，尤其涉及一種單晶晶棒垂直度測試儀。

背景技術

生產出來的單晶圓棒要切割成單晶方棒，然后切割成單晶硅片才能作為基礎材料進一步加工成光伏電池，符合切割要求的單晶圓棒是有效加工的前提。由于在單晶晶棒生長過程中直徑是在一定范圍內變化的，因此硅棒外表直徑是不規則的，如6寸硅棒的直徑范圍為153～158mm，8寸硅棒的直徑范圍為203～208mm，這就造成硅棒上下兩個斷面的圓心有偏差。如偏差過大則不符合加工要求，會造成加工后的部分硅片報廢和硅片加工產能的浪費。隨著晶棒長度的增加，這種偏差會更大。目前行業內僅有測試端面自身垂直度的工具，還沒有專門測試單晶圓棒垂直度即上下端面圓心偏差數據的工具，因此需要開發結構簡單、易于操作的工具來解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：基于上述問題，提供一種結構簡單、易于操作的單晶晶棒垂直度測試儀。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種單晶晶棒垂直度測試儀，具有支架、透明平面板、平面鏡和激光筆，透明平面板水平固定在支架上，透明平面板上標示出標示點，激光筆固定于支架上，激光筆的光束垂直于透明平面板并且穿過標示點，平面鏡活動連接在支架上，激光筆和平面鏡分別位于透明平面板的上方和下方。

進一步地，所述的支架由不銹鋼管構成。

進一步地，所述的透明平面板為透明硬質塑料材質。

所述的單晶晶棒垂直度測試儀的測試方法，依次包括以下步驟：

第一步、標示出透明平面板的標示點、待測單晶晶錠上下端面的圓心；

第二步、打開激光筆，使得激光筆光束垂直于透明平面板并且穿過透明平面板的標示點；

第三步、將單晶晶錠放置于透明平面板上，觀察平面鏡反射的影像，調整單晶晶錠的位置，使單晶晶錠下端面的圓心與透明平面板的標示點重合；

第四步、用輔助工具卡尺測量單晶晶錠上端面上激光光點與圓心之間的距離L，如L小于等于標準值則單晶晶錠垂直度合格，反之則不合格。利用該值即可判定單晶晶錠垂直度的偏差，可以有效避免不符合企業要求的單晶晶錠流入硅片加工工序。

本實用新型的有益效果是：單晶晶棒垂直度測試儀結構簡單緊湊，測試操作簡單，使用方便。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結構示意圖。

其中：1.支架，2.透明平面板，3.平面鏡，4.激光筆，5.標示點。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作進一步的說明。這些附圖均為簡化的示意圖僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

如圖1所示的一種單晶晶棒垂直度測試儀，具有支架1、透明平面板2、平面鏡3和激光筆4，透明平面板2水平固定在支架1上，透明平面板2上標示出標示點5，激光筆4固定于支架1上，激光筆4的光束垂直于透明平面板2并且穿過標示點5，平面鏡3活動連接在支架1上，激光筆4和平面鏡3分別位于透明平面板2的上方和下方。

支架1由不銹鋼管構成，透明平面板2為透明硬質塑料材質。

單晶晶棒垂直度測試儀的測試方法，依次包括以下步驟：

第一步、標示出透明平面板的標示點、待測單晶晶錠上下端面的圓心；

第二步、打開激光筆4，使得激光筆4光束垂直于透明平面板2并且穿過透明平面板2的標示點5；

第三步、將單晶晶錠放置于透明平面板2上，觀察平面鏡3反射的影像，調整單晶晶錠的位置，使單晶晶錠下端面的圓心與透明平面板2的標示點5重合；

第四步、用輔助工具卡尺測量單晶晶錠上端面上激光光點與圓心之間的距離L，如L小于等于標準值則單晶晶錠垂直度合格，反之則不合格。利用該值即可判定單晶晶錠垂直度的偏差，可以有效避免不符合企業要求的單晶晶錠流入硅片加工工序。

以上述依據本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。