[實(shí)用新型]一種對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的自動(dòng)酸洗設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201220149731.9 | 申請(qǐng)日： | 2012-04-09 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN202643917U | 公開（公告）日： | 2013-01-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張燕青;龔海燕 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 鎮(zhèn)江大成新能源有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B33/10 | 分類號(hào)： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 212132 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 對(duì)半 導(dǎo)體 產(chǎn)品 自動(dòng) 酸洗 設(shè)備 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的自動(dòng)酸洗設(shè)備，包括清洗制具（1）、驅(qū)動(dòng)裝置（2）和控制器（3），其特征在于：所述控制器（3）對(duì)所述清洗制具（1）的清洗時(shí)間和振動(dòng)頻率進(jìn)行控制，所述驅(qū)動(dòng)裝置（2）提供動(dòng)力給所述清洗制具（1）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的自動(dòng)酸洗設(shè)備，其特征在于：所述清洗制具（1）由耐酸和耐高溫的材料制造而成。
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