[實(shí)用新型]用于石墨晶舟的固定柱

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220140147.7
• 申請(qǐng)日: 2012-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN202585368U
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李清福
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 屹峰股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L21/687
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;常大軍

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種固定柱，特別涉及一種用于承載太陽能電池芯片的石墨晶舟的固定柱。

背景技術(shù)

太陽能電池的光照面一般都會(huì)有抗反射層或紋理結(jié)構(gòu)，來減少入射陽光的反射。如果沒有這樣的話，入射陽光會(huì)有約30％的反射損失，這對(duì)太陽電池而言是相當(dāng)嚴(yán)重的。硅晶太陽電池一般是使用氮化硅(SiN)來形成抗反射層，它不僅能有效的減少入射光的反射，而且還有鈍化的作用，甚至能保護(hù)太陽電池，有防刮傷、防濕氣等功能。

抗反射層一般在等離子體化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器中制作，等離子體化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器屬于水平爐管的形式，進(jìn)行沉積前先將太陽能電池芯片垂直堆疊在長(zhǎng)方形的石墨晶舟中，石墨晶舟是由多個(gè)石墨板組合而成，用來當(dāng)作產(chǎn)生等離子體的電極板及放置芯片的載具，這些電極板的形狀也是被設(shè)計(jì)成在每片芯片上能提供一個(gè)均勻的等離子體環(huán)境以確保鍍出來的薄膜非常均勻。

這些垂直方向的石墨電極板，以一片接著一片，彼此互相平行的方式排列著，而且以間隔方式當(dāng)作射頻能量及接地的電極，因此等離子體就在每對(duì)的空間中產(chǎn)生。使用多個(gè)長(zhǎng)的平板即可使得在一個(gè)工藝中，放入120片以上的芯片到反應(yīng)器中。

將芯片垂直放置在石墨電極板上時(shí)，須使用固定柱固定。請(qǐng)參照?qǐng)D1、圖2與圖3。圖1為現(xiàn)有的石墨晶舟1承載太陽能電池芯片2的示意圖。圖2為圖1中的固定柱10的俯視圖。圖3為圖2中的固定柱10的側(cè)視圖。

如圖1至圖3所示，現(xiàn)有的固定柱10包含有本體部100、頸部102以及頭部104。固定柱10主要應(yīng)用于生產(chǎn)太陽能電池芯片2的石墨晶舟1上，其功能是使太陽能電池芯片2承載于石墨晶舟1的固定柱10上而不掉落，并使太陽能電池芯片2能垂直地進(jìn)出上述的等離子體化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器進(jìn)行鍍膜。

然而，在固定柱10承載太陽能電池芯片2時(shí)，太陽能電池芯片2的部分面積會(huì)受到固定柱10遮蔽。換言之，太陽能電池芯片2受到固定柱10遮蔽的部分面積將會(huì)因無法有效濺鍍上氮化硅而產(chǎn)生固定柱痕(Pi?n?Mark)，使太陽能電池芯片2的外觀有缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決前述問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于石墨晶舟的固定柱，在有效地防止太陽能電池芯片脫離固定柱的前提下，可將太陽能電池芯片上的固定柱痕尺寸有效地縮小。

為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型提供一種用于石墨晶舟的固定柱，該石墨晶舟用以承載一芯片，該固定柱包含：

一本體部，用以與該石墨晶舟結(jié)合，并承載該芯片；

一頸部，與該本體部連接，用以供該芯片的邊緣抵靠，該頸部的輪廓為一圓柱體，該圓柱體具有一第一半徑；以及

一頭部，與該頸部連接，用以限制該芯片遠(yuǎn)離該本體部的移動(dòng)，該頭部的輪廓為一截頭圓錐體，該截頭圓錐體具有一第二半徑及一第三半徑，且該第三半徑大于該第二半徑。

上述的用于石墨晶舟的固定柱，其中該頭部的第二半徑等于該頸部的該第一半徑。

上述的用于石墨晶舟的固定柱，其中該頸部的寬度范圍為0.2至0.5毫米。

上述的用于石墨晶舟的固定柱，其中該頸部與該頭部的兩側(cè)形成兩平行的側(cè)壁。

上述的用于石墨晶舟的固定柱，其中該頸部與該頭部進(jìn)一步截為具有兩對(duì)平行的側(cè)壁。

本實(shí)用新型固定柱的頭部輪廓設(shè)計(jì)為截頭圓錐體，與圓柱體的頸部連接，提供等離子體態(tài)反應(yīng)氣體進(jìn)入的空間，可有效地大幅縮小芯片上的固定柱痕尺寸。而且，頭部的截頭圓錐體側(cè)邊斜面有助于芯片順利導(dǎo)入。

此外，可借著截去固定柱的頸部與頭部的一部分，使頸部與頭部的兩側(cè)形成兩平行的側(cè)壁，于鍍膜時(shí)達(dá)到縮小芯片上的固定柱痕尺寸。

另外，可借著截去固定柱的頸部與頭部的一部分，使頸部與頭部的四邊形成兩對(duì)平行的側(cè)壁，于鍍膜時(shí)達(dá)到縮小芯片上的固定柱痕尺寸。

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有的石墨晶舟承載太陽能電池芯片的示意圖；

圖2圖1中的固定柱的俯視圖；

圖3為圖2中的固定柱的側(cè)視圖；

圖4依據(jù)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例的石墨晶舟承載太陽能電池芯片的示意圖；

圖5依據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施例的固定柱的外觀立體圖；

圖6為圖5的固定柱的俯視圖；

圖7為圖5的固定柱的側(cè)視圖；

圖8為圖4中的固定柱承載芯片的局部正面放大圖；

圖9為圖4中的固定柱承載芯片的局部側(cè)面放大圖；

圖10依據(jù)本實(shí)用新型的另一實(shí)施例的固定柱的外觀立體圖；