[實用新型]用于石墨晶舟的固定柱有效
| 申請號： | 201220140147.7 | 申請日： | 2012-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN202585368U | 公開（公告）日： | 2012-12-05 |
| 發明（設計）人： | 李清福 | 申請（專利權）人： | 屹峰股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁揮;常大軍 |
| 地址： | 中國臺灣桃園縣*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 石墨 固定 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于石墨晶舟的固定柱，該石墨晶舟用以承載一芯片，其特征在于，該固定柱包含：
一本體部，用以與該石墨晶舟結合，并承載該芯片；
一頸部，與該本體部連接，用以供該芯片的邊緣抵靠，該頸部的輪廓為一圓柱體，該圓柱體具有一第一半徑；以及
一頭部，與該頸部連接，用以限制該芯片遠離該本體部的移動，該頭部的輪廓為一截頭圓錐體，該截頭圓錐體具有一第二半徑及一第三半徑，且該第三半徑大于該第二半徑。
2.根據權利要求1所述的用于石墨晶舟的固定柱，其特征在于，該頭部的第二半徑等于該頸部的該第一半徑。
3.根據權利要求1所述的用于石墨晶舟的固定柱，其特征在于，該頸部的寬度范圍為0.2至0.5毫米。
4.根據權利要求1所述的用于石墨晶舟的固定柱，其特征在于，該頸部與該頭部的兩側形成兩平行的側壁。
5.根據權利要求1所述的用于石墨晶舟的固定柱，其特征在于，該頸部與該頭部進一步截為具有兩對平行的側壁。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
