[實用新型]玻璃基板減薄蝕刻槽

有效

• 申請號: 201220139936.9
• 申請日: 2012-04-05
• 公開（公告）號: CN202576240U
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 楊會良;孫一綺
• 申請（專利權）人: 江西沃格光電科技有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

技術領域

本實用新型涉及玻璃基板減薄蝕刻技術領域，特別是涉及玻璃基板減薄蝕刻槽。

背景技術

隨著科學技術的發展，電子通信產品也得到飛速的發展。電子產品的功能越來越強大，內容越來越豐富，外觀越來越精美。科技時尚化，人們對電子產品擁有時尚外觀，尤其是對電子產品的厚度要求更加薄。例如，帶有液晶顯示屏的電子產品手機、掌上電腦、筆記本電腦等，液晶顯示屏幕都是大而重要的元器件，若要整體的降低厚度，方法之一就是把液晶顯示屏幕的厚度進一步的減薄。

液晶顯示屏幕的減薄需要經過多個程序，其中蝕刻是最為重要的程序之一。蝕刻槽是執行該蝕刻過程的重要組件，在蝕刻的過程中，為了保持最佳的蝕刻反應速率，保證蝕刻液的溫度是十分重要，而傳統的玻璃基板減薄蝕刻槽沒有設計溫控的功能。

實用新型內容

基于此，有必要針對傳統的玻璃基板減薄蝕刻槽沒有對蝕刻液進行調溫的問題，提供一種設置有溫控功能的玻璃基板減薄蝕刻槽。

一種玻璃基板減薄蝕刻槽，包括：槽體；溫控裝置，包括：溫度傳感器，用于獲得所述槽體內蝕刻液的溫度值；調溫組件，用于對所述槽體內的蝕刻液進行升溫或制冷；以及控制器，分別與所述溫度傳感器和所述調溫組件連接，根據所述溫度值控制所述調溫組件對所述槽體內的蝕刻液進行升溫或制冷。

在其中一實施例中，所述溫度傳感器包括：第一溫度傳感單元，所述第一溫度傳感單元獲取所述槽體內蝕刻液的第一溫度值；所述調溫組件包括：冷卻管，所述冷卻管用于對所述槽體內的蝕刻液進行制冷；以及所述控制器包括：冷卻控制器，分別與所述第一溫度傳感單元和所述冷卻管連接，根據所述第一溫度值控制所述冷卻管對所述槽體內的蝕刻液進行制冷。

在其中一實施例中，所述溫度傳感器還包括：第二溫度傳感單元，所述第二溫度傳感單元獲取所述槽體內蝕刻液的第二溫度值；所述調溫組件還包括：加熱管，所述加熱管用于對所述槽體內的蝕刻液進行升溫；以及所述控制器還包括：加熱控制器，分別與所述第二溫度傳感單元和所述加熱管連接，根據所述第二溫度值控制所述加熱管對所述槽體內的蝕刻液進行升溫。

在其中一實施例中，還包括：設置在所述槽體底部的鼓泡裝置，所述鼓泡裝置包括：鼓泡管，設置在所述槽體底部內側，所述鼓泡管開設有鼓泡孔；氣體控制件，與所述鼓泡管連接，控制所述鼓泡管內氣體的傳輸。

在其中一實施例中，所述鼓泡裝置還包括：與所述鼓泡管連接的清洗液控制件，控制所述鼓泡管內清洗液的傳輸。

在其中一實施例中，所述鼓泡孔的軸向方向與所述槽體的底壁形成的夾角小于等于45°，所述鼓泡孔的孔徑為0.5～2毫米。

在其中一實施例中，所述槽體底部開設有排液口，所述玻璃基板減薄蝕刻槽還包括循環過濾裝置，所述循環過濾裝置包括：循環進液管，設置在所述槽體底部外側，且與所述排液口連接；循環進液泵，與所述循環進液管連接，用于抽取所述槽體內的蝕刻液；過濾器，與所述循環進液泵連接，用于過濾所述蝕刻液中的雜質；循環出液管，與所述過濾器連接，用于排出所述過濾后的蝕刻液。

在其中一實施例中，所述循環出液管開設有出液孔，所述出液孔與所述槽體的側壁相對設置。

在其中一實施例中，所述槽體底部為倒錐體狀，所述排液口設置在所述槽體底部的中心。

在其中一實施例中，所述槽體的側壁開設有溢流口，所述溢流口靠近所述槽體的頂端設置。

通過溫度傳感器獲取槽體內蝕刻液的溫度值，控制器根據溫度值控制調溫組件對槽體內蝕刻液的溫度進行升溫或制冷，達到溫度控制的目的。

附圖說明

圖1為玻璃基板減薄蝕刻槽示意圖；

圖2為溫控裝置的邏輯示意圖；

圖3為一實施方式溫控裝置的示意圖；

圖4為另一實施方式溫控裝置的示意圖；

圖5為一實施方式鼓泡裝置的示意圖；

圖6為另一實施方式鼓泡裝置的示意圖；

圖7為一實施方式循環過濾裝置的示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對玻璃基板減薄蝕刻槽進行闡明。

參閱附圖1，為玻璃基板減薄蝕刻槽示意圖，玻璃基板減薄蝕刻槽，包括：