[實用新型]玻璃基板減薄蝕刻槽

有效

• 申請號: 201220139936.9
• 申請日: 2012-04-05
• 公開（公告）號: CN202576240U
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發明（設計）人: 楊會良;孫一綺
• 申請（專利權）人: 江西沃格光電科技有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

1.一種玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，包括：

槽體；

溫控裝置，包括：

溫度傳感器，用于獲得所述槽體內蝕刻液的溫度值；

調溫組件，用于對所述槽體內的蝕刻液進行升溫或制冷；以及

控制器，分別與所述溫度傳感器和所述調溫組件連接，根據所述溫度值控制所述調溫組件對所述槽體內的蝕刻液進行升溫或制冷。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，

所述溫度傳感器包括：第一溫度傳感單元，所述第一溫度傳感單元獲取所述槽體內蝕刻液的第一溫度值；

所述調溫組件包括：冷卻管，所述冷卻管用于對所述槽體內的蝕刻液進行制冷；以及

所述控制器包括：冷卻控制器，分別與所述第一溫度傳感單元和所述冷卻管連接，根據所述第一溫度值控制所述冷卻管對所述槽體內的蝕刻液進行制冷。

3.根據權利要求2所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，

所述溫度傳感器還包括：第二溫度傳感單元，所述第二溫度傳感單元獲取所述槽體內蝕刻液的第二溫度值；

所述調溫組件還包括：加熱管，所述加熱管用于對所述槽體內的蝕刻液進行升溫；以及

所述控制器還包括：加熱控制器，分別與所述第二溫度傳感單元和所述加熱管連接，根據所述第二溫度值控制所述加熱管對所述槽體內的蝕刻液進行升溫。

4.根據權利要求1所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，還包括：設置在所述槽體底部的鼓泡裝置，所述鼓泡裝置包括：

鼓泡管，設置在所述槽體底部內側，所述鼓泡管開設有鼓泡孔；

氣體控制件，與所述鼓泡管連接，控制所述鼓泡管內氣體的傳輸。

5.根據權利要求4所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，所述鼓泡裝置還包括：與所述鼓泡管連接的清洗液控制件，控制所述鼓泡管內清洗液的傳輸。

6.根據權利要求5所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，所述鼓泡孔的軸向方向與所述槽體的底壁形成的夾角小于等于45°，所述鼓泡孔的孔徑為0.5～2毫米。

7.根據權利要求1所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，所述槽體底部開設有排液口，所述玻璃基板減薄蝕刻槽還包括循環過濾裝置，所述循環過濾裝置包括：

循環進液管，設置在所述槽體底部外側，且與所述排液口連接；

循環進液泵，與所述循環進液管連接，用于抽取所述槽體內的蝕刻液；

過濾器，與所述循環進液泵連接，用于過濾所述蝕刻液中的雜質；

循環出液管，與所述過濾器連接，用于排出所述過濾后的蝕刻液。

8.根據權利要求7所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，所述循環出液管開設有出液孔，所述出液孔與所述槽體的側壁相對設置。

9.根據權利要求8所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，所述槽體底部為倒錐體狀，所述排液口設置在所述槽體底部的中心。

10.根據權利要求1所述的玻璃基板減薄蝕刻槽，其特征在于，所述槽體的側壁開設有溢流口，所述溢流口靠近所述槽體的頂端設置。