[實用新型]一種組合式鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220135308.3
• 申請日: 2012-04-01
• 公開（公告）號: CN202543308U
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發(fā)明（設計）人: 趙文普;王健
• 申請（專利權(quán)）人: 洛陽高新四豐電子材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 洛陽明律專利代理事務所 41118
• 代理人: 智宏亮

技術領域

本實用新型屬于靶材技術領域，主要涉及一種組合式鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材，應用于半導體、太陽能、平面顯示器、光學玻璃等電子行業(yè)領域。

背景技術

隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，薄膜科學應用日益廣泛，尤其是用于高新技術領域內(nèi)濺射法加工太陽能光伏的薄膜涂層和平面顯示行業(yè)的電極薄膜。濺射法是制備薄膜材料的主要技術之一，它利用離子源產(chǎn)生的離子，在真空中經(jīng)過加速聚集，而形成高速度能的離子束流，轟擊固體表面，離子和固體表面原子發(fā)生動能交換，使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料，稱為濺射靶材。即可以簡單理解為，濺射沉積薄膜的原材料即為靶材，是為陰極濺射系統(tǒng)中被濺射的材料。其中靶材的純度越高、密度越高，其濺射沉積薄膜越均勻，靶材濺射率越高。由于現(xiàn)有技術中旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材為整體式結(jié)構(gòu)，靶材尺寸越大，加工和生產(chǎn)工藝越困難，當旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材長度達到2000mm以上時，獲得高純、高致密、內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)均勻細小的靶材非常困難，從而嚴重影響靶材成膜后薄膜的均勻性、電阻率、晶體生長的一致性等性能。故具有優(yōu)異結(jié)構(gòu)性能的整體燒結(jié)態(tài)大尺寸旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材的獲得非常困難。

實用新型內(nèi)容

為解決上述技術問題，本實用新型的目的是提出一種組合式鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材。

本實用新型為完成其發(fā)明任務采用如下技術方案：

一種組合式鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材，所述的鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材由兩段管形靶材通過連接組合構(gòu)成；其中管形靶材Ⅰ的一端具有接頭，所述接頭的前端具有外螺紋；所述的管形靶材Ⅱ的一端具有中心空腔，所述管形靶材Ⅱ一端的中心空腔具有與接頭螺紋配合的內(nèi)螺紋。??????

本實用新型提出的一種組合式鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材，采用螺紋連接的兩段管型靶材組合可使鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材達到所需長度，解決了現(xiàn)有技術中靶材尺寸越大，加工越困難的問題，具有結(jié)構(gòu)簡單，操作方便的特點。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1的A-A剖視圖。

圖中：1、管形靶材Ⅰ，2、管形靶材Ⅱ，3、接頭。

具體實施方式

結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型加以說明：

如圖1、圖2所示，一種組合式鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材，所述的鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材由兩段管形靶材通過連接組合構(gòu)成；其中管形靶材Ⅰ1的一端具有接頭3，所述接頭3的前端具有外螺紋；所述的管形靶材Ⅱ2的一端具有中心空腔，所述管形靶材Ⅱ2一端的中心空腔具有與接頭3螺紋配合的內(nèi)螺紋。