[實用新型]一種組合式鉬旋轉濺射管形靶材有效
| 申請號： | 201220135308.3 | 申請日： | 2012-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN202543308U | 公開（公告）日： | 2012-11-21 |
| 發明（設計）人： | 趙文普;王健 | 申請（專利權）人： | 洛陽高新四豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 洛陽明律專利代理事務所 41118 | 代理人： | 智宏亮 |
| 地址： | 471000 河南省*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 組合式 旋轉 濺射 管形靶材 | ||
【權利要求書】：
1.一種組合式鉬旋轉濺射管形靶材，其特征在于：所述的鉬旋轉濺射管形靶材由兩段管形靶材通過連接組合構成；其中管形靶材Ⅰ（1）的一端具有接頭（3），所述接頭（3）的前端具有外螺紋；所述的管形靶材Ⅱ（2）的一端具有中心空腔，所述管形靶材Ⅱ（2）一端的中心空腔具有與接頭（3）螺紋配合的內螺紋。
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