[實(shí)用新型]一種化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220131562.6
• 申請(qǐng)日: 2012-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN202572124U
• 公開（公告）日: 2012-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戴文俊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海集成電路研發(fā)中心有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/34
• 分類號(hào): B24B37/34
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體集成電路制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具。

背景技術(shù)

隨著dual-Damascus工藝、銅互連工藝、90nm及以下工藝在集成電路制造中的發(fā)展，化學(xué)機(jī)械研磨工藝的重要性也日趨顯現(xiàn)出來。

與化學(xué)機(jī)械研磨工藝的控制相比，設(shè)備相關(guān)的耗材成本控制越來越成為一個(gè)重要的課題。目前的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具(retaining?ring)在工作時(shí)僅僅只有下層的塑料緩沖墊與襯墊(pad)摩擦?xí)l(fā)生損耗，上層的不銹鋼夾具不會(huì)有損耗，而目前的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具作為耗材因塑料緩沖墊與不銹鋼的粘合難以分離，所以每次更換時(shí)必須整體一起更換，那么上層的不銹鋼夾具基本上就浪費(fèi)了。

此外，隨著金屬膜研磨的發(fā)展，過去的用黏膠粘合不銹鋼夾具與塑料緩沖墊的方法的缺陷也日益顯現(xiàn)出來。在銅研磨和鎢研磨的過程中由于壓力的增大與研磨時(shí)間的增加，摩擦產(chǎn)生的熱量越來越大，有實(shí)驗(yàn)證明當(dāng)周圍溫度接近60℃時(shí)現(xiàn)行使用的黏膠的粘性就變得不穩(wěn)定，存在脫膠的風(fēng)險(xiǎn)，此外，黏膠老化同樣存在脫膠的風(fēng)險(xiǎn)。與此同時(shí)，在工藝過程中如果脫膠引起塑料緩沖墊松動(dòng)可能會(huì)造成晶圓(wafer)邊緣產(chǎn)生工藝缺陷，如果引起塑料緩沖墊掉落則可能造成晶圓的滑片甚至破片，從而將造成較大的損失。

因此，亟需一種新的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具來減少或避免上述缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提出一種新型的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具。以解決現(xiàn)有技術(shù)中黏膠在溫度升高后容易老化和器件整體更換所帶來的成本增加問題。

為解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具，包括：

塑料緩沖墊及不銹鋼夾具，所述塑料緩沖墊與不銹鋼夾具擰合連接。

進(jìn)一步的，對(duì)于所述的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具，所述不銹鋼夾具有均勻分布的多個(gè)通孔及與每個(gè)通孔連通的卡槽。

進(jìn)一步的，對(duì)于所述的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具，所述塑料緩沖墊具有多個(gè)卡榫，每個(gè)卡榫包括榫頭和榫體，其中，每個(gè)榫頭容置于一個(gè)卡槽內(nèi)，每個(gè)榫體容置于一個(gè)通孔中。

進(jìn)一步的，對(duì)于所述的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具，所述榫頭的高度小于等于所述卡槽的深度。

進(jìn)一步的，對(duì)于所述的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具，所述榫頭的寬度小于等于所述卡槽的寬度。

本實(shí)用新型提供一種化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具，包括：

塑料緩沖墊；

不銹鋼夾具，所述不銹鋼夾具通過固定裝置與所述塑料緩沖墊固定。

進(jìn)一步的，對(duì)于所述的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具，所述固定裝置為螺栓。

進(jìn)一步的，對(duì)于所述的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具，所述不銹鋼夾具有均勻分布的多個(gè)通孔。

進(jìn)一步的，對(duì)于所述的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具，所述塑料緩沖墊具有對(duì)應(yīng)于每個(gè)通孔的未貫通塑料緩沖墊的固定孔。

進(jìn)一步的，對(duì)于所述的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具，所述螺栓的高度大于通孔的深度，且小于等于通孔與固定孔的深度之和。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，在本實(shí)用新型提供的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具中，將不銹鋼夾具與塑料緩沖墊之間的連接從化學(xué)粘合方式改為物理固定方式。從而，可以使不銹鋼夾具與塑料緩沖墊更容易分離，更換更簡易，由此，當(dāng)塑料緩沖墊需要更換時(shí)，僅將其予以更換即可，降低了成本。此外，也避免了脫膠帶來的滑片、破片等的問題，進(jìn)一步的降低了生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具的俯視示意圖；

圖2為圖1所示的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具中區(qū)域a的剖面示意圖；

圖3為圖1所示的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具中區(qū)域a的分解示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例二的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具的剖面示意圖；

圖5為圖4所示的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具的分解示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提供的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。

實(shí)施例一

請(qǐng)參考圖1，其為本實(shí)用新型實(shí)施例一的化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具的俯視示意圖。如圖1所示，化學(xué)機(jī)械研磨頭的夾具，包括：塑料緩沖墊(圖1未示出)及不銹鋼夾具11，所述塑料緩沖墊與不銹鋼夾具11擰合連接。