[實用新型]一種化學機械研磨頭的夾具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220131562.6 | 申請日： | 2012-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN202572124U | 公開（公告）日： | 2012-12-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 戴文俊 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海集成電路研發(fā)中心有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/34 | 分類號： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 201210 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 化學 機械 研磨 夾具 | ||
1.一種化學機械研磨頭的夾具，其特征在于，包括：
塑料緩沖墊及不銹鋼夾具，所述塑料緩沖墊與不銹鋼夾具擰合連接。
2.如權(quán)利要求1所述的化學機械研磨頭的夾具，其特征在于，所述不銹鋼夾具有均勻分布的多個通孔及與每個通孔連通的卡槽。
3.如權(quán)利要求2所述的化學機械研磨頭的夾具，其特征在于，所述塑料緩沖墊具有多個卡榫，每個卡榫包括榫頭和榫體，其中，每個榫頭容置于一個卡槽內(nèi)，每個榫體容置于一個通孔中。
4.如權(quán)利要求3所述的化學機械研磨頭的夾具，其特征在于，所述榫頭的高度小于等于所述卡槽的深度。
5.如權(quán)利要求3所述的化學機械研磨頭的夾具，其特征在于，所述榫頭的寬度小于等于所述卡槽的寬度。
6.一種化學機械研磨頭的夾具，其特征在于，包括：
塑料緩沖墊；
不銹鋼夾具，所述不銹鋼夾具通過固定裝置與所述塑料緩沖墊固定。
7.如權(quán)利要求6所述的化學機械研磨頭的夾具，其特征在于，所述固定裝置為螺栓。
8.如權(quán)利要求7所述的化學機械研磨頭的夾具，其特征在于，所述不銹鋼夾具有均勻分布的多個通孔。
9.如權(quán)利要求8所述的化學機械研磨頭的夾具，其特征在于，所述塑料緩沖墊具有對應(yīng)于每個通孔的未貫通塑料緩沖墊的固定孔。
10.如權(quán)利要求9所述的化學機械研磨頭的夾具，其特征在于，所述螺栓的高度大于通孔的深度，且小于等于通孔與固定孔的深度之和。
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