[實用新型]一種可避免誤動作損害的機械臂有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220131352.7 | 申請日: | 2012-03-29 |
| 公開(公告)號: | CN202601586U | 公開(公告)日: | 2012-12-12 |
| 發(fā)明(設計)人: | 武超;姚小明;劉朋彬 | 申請(專利權)人: | 洛陽尚德太陽能電力有限公司;無錫尚德太陽能電力有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;B25J15/08;B25J13/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 471000 河南省*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 避免 誤動作 損害 機械 | ||
技術領域
本實用新型涉及太陽電池制造領域,具體涉及一種可避免誤動作損害的機械臂。?
背景技術
等離子增強化學氣相沉積(Plasma?Enhanced?Chemical?Vapor?Deposition;PECVD)設備的機械臂在工作過程中,主要負責石墨舟或石墨框的傳送。在設備正常工作時,機械臂會上下左右多位置運動,將石墨舟或石墨框放在設定位置。在自動運行模式下,如果設備出現(xiàn)故障,機械臂會一直向下壓,由于設備上沒有相關保護裝置,下壓運動無法停止。在手動運行模式下,能使機械臂在任何情況下都可以向下運動,存在誤操作的危險。?
在這兩種情況下,如果處理不及時,會將石墨舟或石墨框壓碎或者損壞設備的碳化硅槳等部件,造成經(jīng)濟損失甚至人身傷害。即使按下急停按鈕,依然存在一個短暫的延時,仍可能會造成事故發(fā)生。?
因此,如何提供一種可避免誤動作損害的機械臂來避免機械臂的誤動作,進而避免由此產(chǎn)生的經(jīng)濟損失和人身傷害,已成為業(yè)界亟待解決的技術問題。?
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的是提供一種可避免誤動作損害的機械臂,通過所述機械臂可避免機械臂的誤動作,進而避免由此產(chǎn)生的經(jīng)濟損失和?人身傷害。?
為實現(xiàn)上述目的,本實用新型將提供一種可避免誤動作損害的機械臂,包括臂體以及控制臂體動作的控制模塊,所述機械臂還包括設置在臂體上的微動開關,所述微動開關包括本體、活動設置在本體中并接收機械臂誤動作的力的傳動元件、接收傳動元件做功并在超過臨界點時動作的動作簧片、設置在動作簧片末端的動觸點以及設置在本體上且在動作簧片動作時與動觸點連接狀態(tài)改變的靜觸點,所述靜觸點和動觸點電性連接至控制模塊,控制模塊在靜觸點和動觸點連接狀態(tài)改變時停止臂體的動作。?
在上述可避免誤動作損害的機械臂中,所述傳動元件為按銷、按鈕或杠桿。?
在上述可避免誤動作損害的機械臂中,所述機械臂的誤動作為下壓動作,微動開關設置在臂體上,所述微動開關的傳動元件朝下豎直設置。?
在上述可避免誤動作損害的機械臂中,所述動作簧片的動觸點與靜觸點在傳動元件未受壓時斷開,在傳動元件做功超過臨界點時電性連接。?
在上述可避免誤動作損害的機械臂中,所述動作簧片的動觸點與靜觸點在傳動元件未受壓時電性連接,在傳動元件做功超過臨界點時斷開。
在上述可避免誤動作損害的機械臂中,所述機械臂為等離子增強化學氣相沉積設備的機械臂。?
在上述可避免誤動作損害的機械臂中,所述機械臂的臂體末端還?設置有抓手。?
與現(xiàn)有技術中未在機械臂上加設任何減輕或避免誤動作損害的措施易因機械臂誤動作,從而造成經(jīng)濟損失和人身傷害相比,本實用新型在機械臂的臂體上加設微動開關,當機械臂誤動作時會推動微動開關的傳動元件動作,進而推動動作簧片作動使其末端的動觸點與設置在本體上的靜觸點的連接狀態(tài)改變,從而使得與動觸點和靜觸點電性連接的控制模塊停止機械臂的動作,從而有效避免了機械臂的誤動作,避免了經(jīng)濟損失和人身傷害。?
附圖說明
圖1為本實用新型的可避免誤動作損害的機械臂的組成結構示意圖;以及?
圖2為本實用新型的微動開關的組成結構示意圖。?
具體實施方式
下面結合具體實施例及附圖來詳細說明本實用新型的目的及功效。?
參見圖1,本實用新型的可避免誤動作損害的機械臂包括控制模塊1、臂體2、抓手3和微動開關4,所述抓手3設置在臂體2末端,所述控制模塊1控制臂體2和抓手3的動作。在本實施例中,所述機械臂為等離子增強化學氣相沉積設備的機械臂,所述機械臂用于抓取承載硅片進行鍍膜的石墨舟或石墨框,所述機械臂包括左側和右側的機械臂,所述微動開關4可以設置在左側、右側或兩側同時設置。?
參見圖1和圖2,所述微動開關4包括本體40、傳動元件41、動作簧片42和靜觸點43。在本實施例中,所述本體40設置在抓手3的?外側。在其他實施例中,若微動開關4厚度體積較小且反應靈敏的話,也可以設置在抓手3的底部。?
所述傳動元件41活動設置在本體40中并接收機械臂2誤動作的力。所述傳動元件41為按銷、按鈕或杠桿等。在本實施例中,所述機械臂的誤動作為下壓動作,微動開關4設置在臂體2末端的抓手3上,所述微動開關4的傳動元件41朝下豎直設置,所述傳動元件41為按鈕。?
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





