[實用新型]一種可避免誤動作損害的機械臂有效
| 申請號: | 201220131352.7 | 申請日: | 2012-03-29 |
| 公開(公告)號: | CN202601586U | 公開(公告)日: | 2012-12-12 |
| 發明(設計)人: | 武超;姚小明;劉朋彬 | 申請(專利權)人: | 洛陽尚德太陽能電力有限公司;無錫尚德太陽能電力有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;B25J15/08;B25J13/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 471000 河南省*** | 國省代碼: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 避免 誤動作 損害 機械 | ||
1.一種可避免誤動作損害的機械臂,包括臂體以及控制臂體動作的控制模塊,其特征在于,所述機械臂還包括設置在臂體上的微動開關,所述微動開關包括本體、活動設置在本體中并接收機械臂誤動作的力的傳動元件、接收傳動元件做功并在超過臨界點時動作的動作簧片、設置在動作簧片末端的動觸點以及設置在本體上且在動作簧片動作時與動觸點連接狀態改變的靜觸點,所述靜觸點和動觸點電性連接至控制模塊,控制模塊在靜觸點和動觸點連接狀態改變時停止臂體的動作。
2.按照權利要求1所述的可避免誤動作損害的機械臂,其特征在于,所述傳動元件為按銷、按鈕或杠桿。
3.按照權利要求1所述的可避免誤動作損害的機械臂,其特征在于,所述機械臂的誤動作為下壓動作,微動開關設置在臂體上,所述微動開關的傳動元件朝下豎直設置。
4.按照權利要求1所述的可避免誤動作損害的機械臂,其特征在于,所述動作簧片的動觸點與靜觸點在傳動元件未受壓時斷開,在傳動元件做功超過臨界點時電性連接。
5.按照權利要求1所述的可避免誤動作損害的機械臂,其特征在于,所述動作簧片的動觸點與靜觸點在傳動元件未受壓時電性連接,在傳動元件做功超過臨界點時斷開。
6.按照權利要求1所述的可避免誤動作損害的機械臂,其特征在于,所述機械臂為等離子增強化學氣相沉積設備的機械臂。
7.按照權利要求1所述的可避免誤動作損害的機械臂,其特征在于,所述機械臂的臂體末端還設置有抓手。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





