[實用新型]一種柴油流量傳感器

有效

• 申請號: 201220125816.3
• 申請日: 2012-03-29
• 公開（公告）號: CN202494479U
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 黃新華
• 申請（專利權）人: 寶雞恒通電子有限公司
• 主分類號: G01F1/56
• 分類號: G01F1/56
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 弋才富

技術領域

本實用新型涉及流量傳感器，具體涉及一種柴油流量傳感器。

背景技術

隨著信息技術的高速發展，流量傳感器及其系統在發電機組的應用比例越來越大，流量測量方法和儀表的種類繁多，分類方法也很多，至今為止，可供工業用的流量儀表種類達60種之多，品種如此之多的原因就在于至今還沒找到一種對任何流體、任何量程、任何流動狀態以及任何使用條件都適用的流量儀表，尤其對于柴油發電機組的柴油流量的測量，國內外至今沒有一個很好的測量儀器。如現有的電磁流量傳感器，它具有傳導性的流體在流經電磁場時，通過測量電壓可得到流體的速度。但不能測量電導率很低的液體，如石油制品；不能用于較高溫度。

柴油發電機組工作環境差，溫度高、電磁干擾強，對流量傳感器要求特別嚴格，在柴油流量傳感器的研發過程中，不僅要選用性能優異的芯片材料和元器件，還要設計出抗震性好、耐高溫、耐腐蝕，而且還要在電路設計中采用集成化和抗電磁干擾措施，以提高流量傳感器工作的可靠性和對不同環境的適應性。

發明內容

為了克服上述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種柴油流量傳感器，能夠測柴油流動時液體從芯片表面帶走的熱量，感應出在芯片表面的微小空間里的熱場分布變化，并且直接轉換為毫伏級電壓輸出信號，本實用新型無機械運動部件，具有絕緣強度高、耐腐蝕性好、外圍電路簡單，可靠性高、抗電磁干擾能力強的特點。

為了達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種柴油流量傳感器，包括陶瓷底板11，陶瓷底板11的中部設置有單晶硅襯底15，單晶硅襯底15通過膠粘劑依次粘接有參考電阻12、上游熱電偶13A、加熱元14和下游熱電偶13B形成傳感器芯片，傳感器芯片通過金絲16與焊盤17相連接，焊盤17與集成電路18相連接。

所述的單晶硅襯底15經過各向異性腐蝕，形成一個單晶硅的熱隔離薄膜，并經過氮化處理，且其上鍍有絕緣薄膜。

所述的膠粘劑采用中藍辰光生產的DG-3S膠粘劑。

所述的集成電路18采用ZMD31010芯片。

本實用新型采用耐腐蝕、抗老化塑料為磨具，采用專用粘合劑，使檢測芯片牢靠、穩定的固定在磨具中，具有很好的密封性和抗老化性。滿足了柴油發電機組工作時產生的劇烈震動，避免了管道接口由于長期工作產生滲油、漏油，本產品無機械運動部件、結構簡單、安裝方便、可靠性高、便于批量生產等優點，符合柴油發電機或發動機的油耗計量。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2是傳感器芯片的切面圖。

圖3是傳感器無流量時等溫線示意圖。

圖4是傳感器有由左至右的流量時等溫線示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的結構原理和工作原理作詳細敘述。

參照圖1，圖2一種柴油流量傳感器，包括陶瓷底板11，陶瓷底板11的中部設置有單晶硅襯底15，單晶硅襯底15通過膠粘劑依次粘接有參考電阻12、上游熱電偶13A、加熱元14和下游熱電偶13B形成傳感器芯片，傳感器芯片通過金絲16與焊盤17相連接，焊盤17與集成電路18相連接。

所述的單晶硅襯底15經過各向異性腐蝕，形成一個單晶硅的熱隔離薄膜，并經過氮化處理，且其上鍍有絕緣薄膜。

所述的膠粘劑采用中藍辰光生產的DG-3S膠粘劑。

所述的集成電路18采用ZMD31010芯片，是進口可編程數字集成芯片，具有高精度、高穩定性、高可靠性等優點。它能方便對輸出的電壓差信號進行放大處理。通過計算機進行調試，簡單方便。當給柴油流量傳感器，配一臺二次顯示儀表，即可直觀明了的觀測流量體積。

本實用新型的工作原理為：