[實用新型]一種柴油流量傳感器有效
| 申請號： | 201220125816.3 | 申請日： | 2012-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN202494479U | 公開（公告）日： | 2012-10-17 |
| 發明（設計）人： | 黃新華 | 申請（專利權）人： | 寶雞恒通電子有限公司 |
| 主分類號： | G01F1/56 | 分類號： | G01F1/56 |
| 代理公司： | 西安智大知識產權代理事務所 61215 | 代理人： | 弋才富 |
| 地址： | 721013 *** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 柴油 流量傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種柴油流量傳感器，其特征在于，包括陶瓷底板(11)，陶瓷底板(11)的中部設置有單晶硅襯底(15)，單晶硅襯底(15)通過膠粘劑依次粘接有參考電阻(12)、上游熱電偶(13A)、加熱元(14)和下游熱電偶(13B)形成傳感器芯片，傳感器芯片通過金絲(16)與焊盤(17)相連接，焊盤(17)與集成電路(18)相連接。
2.根據權利要求1所述的一種柴油流量傳感器，其特征在于，所述的單晶硅襯底(15)經過各向異性腐蝕，形成一個單晶硅的熱隔離薄膜，并經過氮化處理，且其上鍍有絕緣薄膜。
3.根據權利要求1所述的一種柴油流量傳感器，其特征在于，所述的膠粘劑采用中藍辰光生產的DG-3S膠粘劑。
4.根據權利要求1所述的一種柴油流量傳感器，其特征在于，所述的集成電路(18)采用ZMD31010芯片。
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