[實用新型]一種薄膜晶體管的結構有效

申請號：	201220124813.8	申請日：	2012-03-29
公開（公告）號：	CN202523718U	公開（公告）日：	2012-11-07
發明（設計）人：	呂建國;張杰;李喜峰;葉志鎮;張焱;吳萍	申請（專利權）人：	浙江大學
主分類號：	H01L29/786	分類號：	H01L29/786
代理公司：	杭州求是專利事務所有限公司 33200	代理人：	韓介梅
地址：	310027 浙***	國省代碼：	浙江;33
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種薄膜晶體管結構
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【權利要求書】：

1.一種薄膜晶體管的結構，自下而上依次有柵極（1）、絕緣層（2）、有源層（3）、在有源層（3）上覆蓋有相隔的源電極（4）和漏電極（5），器件溝道的長度（L）等于源電極（4）和漏電極（5）之間相隔的距離，其特征在于柵極（1）為“n”型形狀，器件溝道的寬度（W）等于“n”型底邊的邊寬，溝道處源電極（4）和漏電極（5）的寬度大于“n”型底邊的寬度。

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