[實用新型]一種用于搬運半導體晶圓移動載機的轉動式排線夾

有效

• 申請號: 201220117598.9
• 申請日: 2012-03-26
• 公開（公告）號: CN202597901U
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 趙興
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: F16L3/01
• 分類號: F16L3/01;H01L21/677
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 丁紀鐵

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，特別是涉及一種用于搬運半導體晶圓移動載機的轉動式排線夾。?

背景技術

RECIF移載機是用來搬運半導體晶圓的機械設備。由于自身結構特點，在機械手前后運行中（如圖1所示），數據排線A會翹起，不可避免的觸碰前后軸驅動皮帶B。由于前后軸動作頻繁，會造成皮帶和排線磨損，損壞。排線與皮帶為進口配件比較昂貴，皮帶和排線的磨損增加了生產成本；同時由于機臺構造，更換排線需要拆卸機械手臂以及馬達皮帶組件，工時為4小時以上，造成生產延誤，降低了生產效率?

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種用于搬運半導體晶圓移動載機的轉動式排線夾能避免在生產過程中由于數據排線翹起造成搬運半導體晶圓移動載機皮帶和數據排線磨損的情況，延長搬運半導體晶圓移動載機皮帶和數據排線的使用壽命，降低生產成本，提高生產效率。?

為解決上述技術問題，本實用新型所提供的用于搬運半導體晶圓移動載機的轉動式排線夾，包括：?

一轉動軸桿，穿設于一底蓋板上，所述底蓋板能圍繞所述轉動軸桿旋轉；?

一頂蓋板，通過四個螺絲固定于所述底蓋板上，所述頂蓋板和底蓋板之間具有供排線進出空間；?

二安裝耳，套設于所述轉動軸桿的兩端，用于將排線夾固定在RECIF移動載機的機械臂框架上。?

其中，所述頂蓋板和底蓋板為長方形，長15CM，寬6CM。?

其中，所述轉動軸桿長度為15.4CM。?

附圖說明

下面結合附圖與具體實施方式對本發明作進一步詳細的說明：?

圖1是搬運半導體晶圓移動載機發生皮帶與數據排線磨損的示意圖。?

圖2是本實用新型的結構示意圖。?

圖3是本實用新型安裝在搬運半導體晶圓移動載機的示意圖。?

附圖標記?

1是馬達組件?

2是機械臂?

3是前后軸驅動皮帶?

4是數據排線?

5是磨損部位?

6是安裝耳?

7是轉動軸桿?

8是頂蓋板?

9是底蓋板?

10是螺絲?

11是排線夾?

具體實施方式

如圖2所示，本實用新型所提供的用于搬運半導體晶圓移動載機的轉動式排線夾，包括：?

一轉動軸桿長度為15.4CM，穿設于一長方形（長15CM，寬6CM）的底蓋板上，所述底蓋板能圍繞所述轉動軸桿旋轉；?

一頂蓋板為長方形（長15CM，寬6CM），通過四個螺絲固定于所述底蓋板上，所述頂蓋板和底蓋板之間具有供排線進出空間；?

二安裝耳，套設于所述轉動軸桿的兩端，用于將排線夾固定在搬運半導體晶圓移動載機的機械臂框架上。?

如圖3所示，本實用新型的排線夾固定在搬運半導體晶圓移動載機的機械臂框架上，機械臂移動時排線夾隨之轉動不影響數據排線移動，避免了皮帶與數據排線相互磨損的情況。?

以上通過具體實施方式和實施例對本實用新型進行了詳細的說明，但這些并非構成對本實用新型的限制。在不脫離本實用新型原理的情況下，本領域的技術人員還可做出許多變形和改進，這些也應視為本實用新型的保護范圍。?