[實用新型]一種用于搬運半導體晶圓移動載機的轉動式排線夾有效
| 申請號: | 201220117598.9 | 申請日: | 2012-03-26 |
| 公開(公告)號: | CN202597901U | 公開(公告)日: | 2012-12-12 |
| 發明(設計)人: | 趙興 | 申請(專利權)人: | 上海華虹NEC電子有限公司 |
| 主分類號: | F16L3/01 | 分類號: | F16L3/01;H01L21/677 |
| 代理公司: | 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁紀鐵 |
| 地址: | 201206 上海*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 搬運 半導體 移動 轉動 排線 | ||
1.一種用于搬運半導體晶圓移動載機的轉動式排線夾,其特征是,包括:
一轉動軸桿,穿設于一底蓋板上,所述底蓋板能圍繞所述轉動軸桿旋轉;
一頂蓋板,通過四個螺絲固定于所述底蓋板上,所述頂蓋板和底蓋板之間具有供排線進出空間;
二安裝耳,套設于所述轉動軸桿的兩端,用于將排線夾固定在RECIF移動載機的機械臂框架上。
2.如權利要求1所述的搬運半導體晶圓移動載機的轉動式排線夾,其特征是:所述頂蓋板和底蓋板為長方形,長15CM,寬6CM。
3.如權利要求1所述的搬運半導體晶圓移動載機的轉動式排線夾,其特征是:所述轉動軸桿長度為15.4CM。?
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