[實用新型]一種碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置

有效

• 申請號: 201220104272.2
• 申請日: 2012-03-20
• 公開（公告）號: CN202530160U
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發明（設計）人: 王俊朝;王滋潤;李學文;李軍陽
• 申請（專利權）人: 深圳市大族光伏科技股份有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;F16H7/02
• 代理公司: 廣東國暉律師事務所 44266
• 代理人: 陳琳

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜技術領域，更具體地說，涉及一種碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置。

背景技術

在進行基片表面鍍膜時，首先將未鍍膜的基片插入石墨舟中，將載有基片的石墨舟放置在等離子體增強化學氣相沉積(Plasma?Enhanced?Chemical?Vapor?Deposition，PECVD)真空鍍膜設備石英反應室中，采用合適的PECVD工藝對基片進行鍍膜。鍍膜結束后，從PECVD真空鍍膜設備的石英反應室中取出石墨舟，然后再將經過鍍膜的基片從石墨舟上取下來。

目前常采用一種碳化硅軟著陸裝載機構來實現自動運送裝載基片的石墨舟進入并放置于石英反應室中，或將石墨舟從石英反應室中取出。目前碳化硅漿軟著陸裝卸載機構水平運動采用的是絲杠傳動方式，這種方式對于長距離移動來說，制造精度高，安裝復雜，成本高，且絲桿需要油來潤滑，對潔凈室產生污染，運動噪音大；且目前碳化硅漿軟著陸裝卸載機構中所有的驅動采用步進電機，其啟動力矩小，容易產生丟步，所以運行精度低。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題在于，針對現有技術的上述缺陷，提供一種結構簡單、安裝方便、維護成本低、噪音小的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

構造一種碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，包括用于連接碳化硅漿的固定件和基體，所述基體上設置有用于驅動所述固定件沿豎直方向運動的升降運動機構和用于驅動所述升降運動機構和所述固定件一起沿水平方向運動的水平運動機構；所述水平運動機構包括兩條設置在所述基體上的水平導軌，所述水平導軌上設置有可相對所述水平導軌滑動的水平溜板，所述升降運動機構固定設置在所述水平溜板上；其中，所述水平運動機構還包括與所述水平溜板連接、以驅動所述水平溜板相對所述水平導軌滑動的水平同步傳動帶，所述水平同步傳動帶連接有水平運動電機。

本實用新型所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其中，所述升降運動機構包括設置在所述水平溜板上的升降導軌，所述升降導軌上設置有可相對所述升降導軌滑動的升降溜板；

所述升降運動機構還包括與所述升降溜板驅動連接、以驅動所述升降溜板沿所述升降導軌上下滑動的升降絲桿，所述升降絲桿連接有升降運動電機。

本實用新型所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其中，所述水平運動電機為伺服電機。

本實用新型所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其中，所述升降運動電機為伺服電機。

本實用新型所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其中，所述固定件包括固定設置在所述升降溜板上的懸臂板和設置在所述懸臂板上、用于連接碳化硅漿的固定腔。

本實用新型所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其中，所述升降運動電機的輸出軸與渦輪蝸桿減速機的空心動力輸入軸連接，所述渦輪蝸桿減速機的空心動力輸出軸與所述升降絲桿的一端連接。

本實用新型的有益效果在于：通過采用水平同步傳動帶替代現有技術中的絲桿帶動水平溜板沿水平導軌滑動，從而帶動升降運動機構和固定件一起沿水平方向運動，降低了碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置制造中對零件的精度要求，降低了制造成本，且結構簡單，安裝方便，同時由于水平同步傳動帶工作時不需要使用油潤滑，因此也降低了碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置的維護費用，且不會產生污染，運行起來噪音低。

附圖說明

下面將結合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明，附圖中：

圖1是本實用新型較佳實施例的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置立體結構示意圖；

圖2是本實用新型較佳實施例的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置正面結構示意圖；

圖3是本實用新型較佳實施例的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置沿圖2中A-A向的剖視圖；

圖4是本實用新型較佳實施例的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置側面示意圖；

圖5是本實用新型較佳實施例的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置的等軸側視圖。

具體實施方式