[實用新型]一種碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220104272.2
• 申請日: 2012-03-20
• 公開（公告）號: CN202530160U
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王俊朝;王滋潤;李學(xué)文;李軍陽
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市大族光伏科技股份有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;F16H7/02
• 代理公司: 廣東國暉律師事務(wù)所 44266
• 代理人: 陳琳

1.一種碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，包括用于連接碳化硅漿(13)的固定件和基體(1)；所述基體(1)上設(shè)置有用于驅(qū)動所述固定件沿豎直方向運動的升降運動機構(gòu)，和用于驅(qū)動所述升降運動機構(gòu)和所述固定件一起沿水平方向運動的水平運動機構(gòu)；所述水平運動機構(gòu)包括兩條設(shè)置在所述基體(1)上的水平導(dǎo)軌(2)，所述水平導(dǎo)軌(2)上設(shè)置有可相對所述水平導(dǎo)軌(2)滑動的水平溜板(5)，所述升降運動機構(gòu)固定設(shè)置在所述水平溜板(5)上；其特征在于，所述水平運動機構(gòu)還包括與所述水平溜板(5)連接、以驅(qū)動所述水平溜板(5)相對所述水平導(dǎo)軌(2)滑動的水平同步傳動帶(3)，所述水平同步傳動帶(3)連接有水平運動電機(11)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其特征在于，所述升降運動機構(gòu)包括設(shè)置在所述水平溜板(5)上的升降導(dǎo)軌(6)，所述升降導(dǎo)軌(6)上設(shè)置有可相對所述升降導(dǎo)軌(6)滑動的升降溜板(8)；

所述升降運動機構(gòu)還包括與所述升降溜板(8)驅(qū)動連接、以驅(qū)動所述升降溜板(8)沿所述升降導(dǎo)軌(6)上下滑動的升降絲桿(9)，所述升降絲桿(9)連接有升降運動電機(4)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其特征在于，所述水平運動電機(11)為伺服電機。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其特征在于，所述升降運動電機(4)為伺服電機。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其特征在于，所述固定件包括固定設(shè)置在所述升降溜板(8)上的懸臂板(12)和設(shè)置在所述懸臂板(12)上、用于連接碳化硅漿(13)的固定腔(10)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其特征在于，所述升降運動電機(4)的輸出軸與渦輪蝸桿減速機(7)的空心動力輸入軸連接，所述渦輪蝸桿減速機(7)的空心動力輸出軸與所述升降絲桿(9)的一端連接。