[實用新型]可實現自動翻轉的基片架有效
| 申請號： | 201220101661.X | 申請日： | 2012-03-16 |
| 公開（公告）號： | CN202499902U | 公開（公告）日： | 2012-10-24 |
| 發明（設計）人： | 李輝 | 申請（專利權）人： | 北京北儀創新真空技術有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C14/50 | 分類號： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京凱特來知識產權代理有限公司 11260 | 代理人： | 鄭立明;趙鎮勇 |
| 地址： | 102600 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 實現 自動 翻轉 基片架 | ||
【權利要求書】：
1.一種可實現自動翻轉的基片架，其特征在于，基片架包括基片卡具，所述基片卡具通過回轉軸安裝在支座上，所述回轉軸的后端設有棘輪，所述支座固定在鍍膜設備的旋轉機構上；
與所述棘輪對應的部位設有棘爪，所述棘爪連接有升降裝置；
當所述棘爪上升時，所述棘爪與棘輪嚙合；當所述棘爪下降時，所述棘爪與棘輪分離。
2.根據權利要求1所述的可實現自動翻轉的基片架，其特征在于，所述升降裝置包括氣缸或直線電機。
3.根據權利要求1或2所述的可實現自動翻轉的基片架，其特征在于，所述棘爪和棘輪的材料選擇40Cr。
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