[實用新型]超純水制造用子系統有效
| 申請號： | 201220101480.7 | 申請日： | 2012-03-14 |
| 公開（公告）號： | CN202705158U | 公開（公告）日： | 2013-01-30 |
| 發明（設計）人： | 川勝孝博;福井長雄 | 申請（專利權）人： | 栗田工業株式會社 |
| 主分類號： | C02F9/08 | 分類號： | C02F9/08 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 崔香丹;張永康 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 超純水 制造 子系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種超純水制造用子系統，其是從一次純水制造超純水的子系統，其至少包括UV裝置、脫氣裝置、離子交換樹脂裝置以及UF膜裝置，其特征在于，
在該UF膜裝置的后級中，具有填充了粒徑為1～3mm的粒狀吸附體的吸附裝置；
通過來自該UF膜裝置的流出水壓，能夠在不使用升壓泵的情況下向該吸附裝置中通水。
2.如權利要求1所述的超純水制造用子系統，其特征在于，在所述吸附裝置的后級還設置有MF膜裝置或UF膜裝置。?
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