[實用新型]低壓干燥預烘裝置

有效

• 申請號: 201220088615.0
• 申請日: 2012-03-09
• 公開（公告）號: CN202453649U
• 公開（公告）日: 2012-09-26
• 發明（設計）人: 黃寅虎;白明基;楊成紹
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/38
• 分類號: G03F7/38;G03F7/16
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國勝;王瑩

1.一種低壓干燥預烘裝置，包括，上腔室，對應的設置于所述上腔室下方的下腔室，所述下腔室上設置有基臺，其特征在于，所述上腔室固定在外固定裝置上，所述上腔室面向下腔室的壁面上均勻設置有若干個真空管，所述下腔室的下方設置有升降梯。

2.如權利要求1所述的低壓干燥預烘裝置，其特征在于，所述基臺上均勻設置有若干個熱盤。

3.如權利要求2所述的低壓干燥預烘裝置，其特征在于，所述熱盤包括加熱件。

4.如權利要求3中所述的低壓干燥預烘裝置，其特征在于，所述熱盤還包括溫度傳感器和加熱控制器。

5.如權利要求3中所述的低壓干燥預烘裝置，其特征在于，所述加熱件包括電阻絲。

6.如權利要求1所述的低壓干燥預烘裝置，其特征在于，所述上腔室通過固定件固定在外固定裝置上。

7.如權利要求1所述的低壓干燥預烘裝置，其特征在于，所述升降梯的底端通過固定件固定在外固定裝置上。