[實(shí)用新型]一種化學(xué)氣相沉積爐用沉積室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220075583.0
• 申請(qǐng)日: 2012-03-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202323024U
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 欒吉?jiǎng)?/a>;閆根程;張宜杰;趙啟民
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 煙臺(tái)魯航炭材料科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/46
• 分類號(hào): C23C16/46
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種沉積室，尤其涉及一種化學(xué)氣相沉積爐用沉積室，屬于炭/炭復(fù)合材料制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

化學(xué)氣相沉積（CVI）是制造炭/炭復(fù)合材料的傳統(tǒng)工藝方法，它是將烴類氣體通入沉積爐內(nèi)，在1000℃左右條件下，熱解炭在炭纖維表面不斷生長(zhǎng)，最終使纖維編織體致密化形成炭纖維增強(qiáng)熱解炭基體復(fù)合材料。沉積爐一般采用中頻感應(yīng)加熱或石墨電阻加熱，在石墨電阻加熱沉積爐中，根據(jù)爐膛的大小石墨加熱器可設(shè)計(jì)成管狀、棒狀、板狀等不同的結(jié)構(gòu)形式，在氣相沉積過(guò)程中熱解炭除了在炭纖維表面不斷生長(zhǎng)使炭纖維預(yù)制體致密外，還會(huì)在石墨加熱器上以及引電連接部位上生長(zhǎng)，既浪費(fèi)了大量的原料氣體造成沉積效率降低，而且由于熱解炭在石墨加熱器上以及引電連接部位上的不斷生長(zhǎng)，極易造成設(shè)備短路等故障，影響設(shè)備利用效率，增加設(shè)備檢修維護(hù)工作量。因此亟需一種在沉積爐內(nèi)可以避免工作氣體與石墨加熱器的接觸，還能增加工作氣體的利用率的沉積室。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中石墨電阻加熱沉積爐內(nèi)存在的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單在石墨電阻加熱沉積爐內(nèi)不但可以避免工作氣體與石墨加熱器的接觸，而且增加了工作氣體的利用率的沉積室。????

本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案如下：一種化學(xué)氣相沉積爐用沉積室，包括沉積室本體及上蓋板，其特點(diǎn)是，所述沉積室本體為圓筒狀結(jié)構(gòu)，所述上蓋板設(shè)置在所述沉積室本體的頂部，且與所述沉積室本體密閉連接，所述上蓋板上設(shè)有排氣孔；所述沉積室本體套裝在發(fā)熱體內(nèi)，所述沉積室本體設(shè)置在沉積爐底座上。

在石墨電阻加熱沉積爐內(nèi)安裝本實(shí)用新型，在本實(shí)用新型內(nèi)裝入準(zhǔn)備氣相沉積的預(yù)制體并由沉積爐底座上的進(jìn)氣孔通入烴類氣體，預(yù)制體在沉積室內(nèi)不斷增密，反應(yīng)后的廢氣由頂部排氣孔排出。

進(jìn)一步，所述沉積室本體采用石墨或炭/炭復(fù)合材料材質(zhì)。

進(jìn)一步，上蓋板上的排氣孔為圓孔，其直徑為100mm。便于工作時(shí)氣相沉積爐爐內(nèi)沉積室內(nèi)部已反應(yīng)氣體排放。

進(jìn)一步，所述排氣孔為5個(gè)。保證大量的氣體能隨時(shí)排除沉積室。

本實(shí)用新型的有益效果是：在石墨電阻加熱沉積爐中安裝本實(shí)用新型后，避免了工作氣體與石墨加熱器的接觸，增加了工作氣體的利用率，同時(shí)減少了熱解炭在石墨加熱器上以及引電連接部位上的不斷生長(zhǎng)而造成的設(shè)備短路等故障，降低了設(shè)備檢修維護(hù)工作量。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1沿A-A方向的俯視圖。

圖1-圖2所示，1、沉積室本體；2、發(fā)熱體；3、上蓋板；4、排氣孔；5、沉積爐底座；6、進(jìn)氣孔。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本實(shí)用新型，并非用于限定本實(shí)用新型的范圍。

如圖1和圖2所示，一種化學(xué)氣相沉積爐用沉積室，包括沉積室本體1及上蓋板3，所述沉積室本體1為圓筒狀結(jié)構(gòu)，位于所述沉積爐底座5的上方；所述上蓋板3設(shè)置在所述沉積室本體1的頂部，且與所述沉積室本體1密閉連接，所述上蓋板3上設(shè)有排氣孔4，所述上蓋板3上的排氣孔4為圓孔，所述圓孔的直徑為100mm；所述沉積室本體1套裝在發(fā)熱體2內(nèi)。

所述沉積室本體1采用石墨或炭/炭復(fù)合材料材質(zhì)。所述炭/炭復(fù)合材料是一種由高強(qiáng)度碳素纖維和碳素基質(zhì)經(jīng)過(guò)石墨化增強(qiáng)處理后構(gòu)成的材料，可以廣泛應(yīng)用在高溫環(huán)境下的各類結(jié)構(gòu)件，加熱器和容器。

在石墨電阻加熱沉積爐內(nèi)安裝本實(shí)用新型，在本實(shí)用新型沉積室內(nèi)裝入準(zhǔn)備氣相沉積的預(yù)制體，然后通過(guò)沉積爐底座5上的進(jìn)氣孔6通入烴類氣體，預(yù)制體在沉積室內(nèi)不斷增密，反應(yīng)后的廢氣由頂部排氣孔4排出，避免工作氣體與石墨加熱器接觸。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。