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[實用新型]一種檢測磨面硅晶棒尺寸的工具有效

專利信息
申請號: 201220067530.4 申請日: 2012-02-28
公開(公告)號: CN202494407U 公開(公告)日: 2012-10-17
發明(設計)人: 婁正軍;杭錦旭;杭錦旭 申請(專利權)人: 常州天合光能有限公司
主分類號: G01B5/00 分類號: G01B5/00
代理公司: 常州市維益專利事務所 32211 代理人: 王凌霄
地址: 213031 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 檢測 磨面硅晶棒 尺寸 工具
【權利要求書】:

1.一種檢測磨面硅晶棒尺寸的工具,其特征在于:具有兩端折彎的柱體(1),所述的柱體(1)折彎的一端內側設有基準平面(2),在柱體的另一端依次設有與所述基準平面(2)平行的最大值測試平面(3)和最小值測試平面(4),且所述基準平面與最大值測試平面構成的尺寸的值大于基準平面與最小值測試平面構成的尺寸的值,所述的最大值測試平面與最小值測試平面由差值斜面(5)平滑連接。

2.如權利要求1所述的一種檢測磨面硅晶棒尺寸的工具,其特征在于:在所述的柱體中部、折彎兩端之間設有防滑套(6)。

3.如權利要求2所述的一種檢測磨面硅晶棒尺寸的工具,其特征在于:在所述的防滑套(6)的中部嵌入安裝有氣泡式水平儀(8)。

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