[實用新型]一種檢測磨面硅晶棒尺寸的工具

有效

• 申請號: 201220067530.4
• 申請日: 2012-02-28
• 公開（公告）號: CN202494407U
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 婁正軍;杭錦旭;杭錦旭
• 申請（專利權）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: G01B5/00
• 分類號: G01B5/00
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

技術領域

本實用新型涉及磨面硅晶棒檢測的技術領域，尤其是一種能滿足磨面硅晶棒尺寸的檢測便捷高效、不易損傷晶體的檢測工具。

背景技術

目前，在公知的磨面硅晶棒檢測的技術領域，通常使用機械游標卡尺測量硅晶棒的頭、中、尾三個點，容易漏測不良尺寸處，且容易導致硅晶棒產生缺角、崩邊等問題，使用機械游標卡尺測量的精度易受測試人員操作水平的影響，同時整個檢測過程冗長、耗費人力。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：提供一種能解決磨面硅晶棒檢測過程冗長不易、檢測精度易受人為因素影響、容易損傷晶體問題的檢測工具。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種檢測磨面硅晶棒尺寸的工具，具有兩端折彎的柱體，所述的柱體折彎的一端內側設有基準平面，在柱體的另一端依次設有與所述基準平面平行的最大值測試平面、最小值測試平面，且所述基準平面與最大值測試平面構成的尺寸的值大于基準平面與最小值測試平面構成的尺寸的值，所述的最大值測試平面與最小值測試平面由差值斜面平滑連接。

進一步的，考慮到便攜性，本實用新型在所述的柱體中部、折彎兩端之間設有防滑套。

進一步的，為了增加測量的準確性和可靠性，本實用新型在在所述的防滑套的中部嵌入安裝有氣泡式水平儀。

本實用新型的有益效果是：本實用新型采用一體式設計的檢測工具，所需的合格尺寸介于基準平面分別與最大值測試平面和最小值測試平面構成的尺寸之間，使用時只需簡單地上下前后滑動所述的柱體即可完成檢測過程，增設的氣泡式水平儀可以保證檢測工具始終處于正確的位置，也便于調整檢測工具的位置，操作便捷高效，避免了人為因素對檢測精度的影響，且不易損傷硅晶棒。

附圖說明

圖1是本實用新型的剖面結構示意圖。

圖2是本實用新型(檢測過程時)的結構示意圖。

圖中：1.柱體，2.基準平面，3.最大值測試平面，4.最小值測試平面，5.差值斜面，6.防滑套，7.待測磨面硅晶棒，8.氣泡式水平儀。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

如圖1所示的本實用新型一種檢測磨面硅晶棒尺寸的工具，具有兩端折彎的柱體1，柱體1折彎的一端內側設有基準平面2，在柱體的另一端依次設有與所述基準平面2平行的最大值測試平面3、最小值測試平面4，且所述基準平面與最大值測試平面構成的尺寸的值大于基準平面與最小值測試平面構成的尺寸的值，所述的最大值測試平面與最小值測試平面由差值斜面5平滑連接，在所述的柱體中部、折彎兩端之間設有防滑套6，使得裝置更易攜帶，在所述的防滑套6的中部嵌入安裝有氣泡式水平儀8。

如圖2所示，所需的合格尺寸介于基準平面分別與最大值測試平面和最小值測試平面構成的尺寸之間，檢測的時候使基準平面2的端部與待測磨面硅晶棒7的左面保持相吻合的姿勢向下滑動，同時位于另一側的最大值測試平面3和最小值測試平面4也向下滑動。若是合格的磨面硅晶棒，則滑動到最大值測試平面3與最小值測試平面4之間所形成的差值斜面5上就會停止，此時可以通過整體平移柱體1來測量整根磨面硅晶棒的尺寸是否在合格范圍內；若是不合格磨面硅晶棒，對于尺寸偏大的磨面硅晶棒，柱體1無法向下移動，對于尺寸偏小的磨面硅晶棒，則不會在差值斜面5處停止，會一直往下滑動，直至防滑套6處，在測試過程中氣泡式水平儀8內應當始終處于平行的位置，進一步保證了測量的準確性和可靠性。

以上述依據本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。