[實用新型]裸片拾取裝置

有效

• 申請號: 201220050767.1
• 申請日: 2012-02-16
• 公開（公告）號: CN202558261U
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發明（設計）人: 巖城范明;濱根剛
• 申請（專利權）人: 富士機械制造株式會社
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 高培培;車文

技術領域

本實用新型涉及一種裸片拾取裝置，其在通過吸附嘴拾取粘貼到切割片上的裸片時，對通過吸附嘴拾取的裸片的粘貼部分從切割片的下表面側吸引并將該裸片的粘貼部分進行片剝離。

背景技術

在剝離粘貼到切割片上的裸片的方式中，包括頂起剝離方式和滑動剝離方式。在頂起剝離方式中，如專利文獻1(日本特開2010-129949號公報)所述，用吸附嘴對從粘貼了切割為棋盤格狀的晶圓且能夠伸縮的切割片上的晶圓分割出的裸片進行吸附并拾取時，對切割片中的要吸附的裸片的粘貼部分從其正下方用頂起瓶頂起，將該裸片的粘貼部分從切割片部分剝離的同時，用吸附嘴吸附該裸片，從切割片拾取。

但是，當裸片較薄易破裂時，在上述頂起剝離方式中，裸片可能破裂，因此使用滑動剝離方式。在滑動剝離方式中，如專利文獻2(日本特許第3209736號公報)所述，具有拾取粘貼了多個裸片的切割片上的裸片的吸附嘴(筒)及具有片吸引孔的剝離臺，通過吸附嘴吸附保持切割片上的裸片的同時，使剝離臺的片吸引孔從該裸片的粘貼部分的近前側向該裸片的粘貼部分的正下方滑動，從而對該裸片的粘貼部分逐漸進行片剝離。

專利文獻1：日本特開2010-129949號公報

專利文獻2：日本特許3209736號公報

實用新型內容

為了縮短拾取裝置的節拍時間，加快片剝離速度并縮短片剝離所需的時間較為有效，但在上述專利文獻2所述的滑動剝離方式中，因對較薄易破裂的裸片進行片剝離，所以加快剝離臺的滑動速度時，較薄的裸片可能破裂，或片剝離可能失敗。為防止該片剝離的失敗，增大吸引力即可，但增大吸引力時，較薄的裸片變得易破裂，所以無法增大吸引力。因此存在以下缺點：無法加快剝離臺的滑動速度，每個裸片的片剝離所需的時間變長，裸片拾取裝置的節拍時間變長。

因此，本實用新型要解決的課題是，提供一種能夠使每個裸片的片剝離所需的時間變短并縮短節拍時間的裸片拾取裝置。

為解決上述課題，技術方案1涉及的實用新型是一種裸片拾取裝置，具有：吸附嘴，拾取切割片上的裸片，該切割片上粘貼了將晶圓切割為棋盤格狀而形成的多個裸片；剝離臺，從上述切割片的下表面側吸引要通過上述吸附嘴拾取的裸片的粘貼部分，而對該裸片的粘貼部分進行片剝離，上述剝離臺具有吸引上述切割片的片吸引孔，通過上述吸附嘴吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剝離臺從該裸片的粘貼部分的近前側滑動至該裸片的粘貼部分的正下方，從而通過上述片吸引孔對該裸片的粘貼部分逐漸進行片剝離，其特征在于，上述吸附嘴構成為能夠同時拾取多個裸片，上述剝離臺的片吸引孔形成為，通過上述吸附嘴同時吸附保持上述多個裸片，且同時對該多個裸片的粘貼部分進行片剝離。

在該構成中，可將切割片上的多個裸片的粘貼部分同時進行片剝離，因此可大幅縮短每個裸片的片剝離所需的時間，可縮短裸片拾取裝置的節拍時間。

該情況下，如技術方案2所述，其構成也可以是，吸附嘴具有對于能夠同時拾取的多個裸片按照每個裸片分別獨立地切換吸附/不吸附的單元。這樣一來，例如在拾取動作時如果在能夠通過吸附嘴同時拾取的多個裸片中存在問題裸片(不良裸片)，則可將該問題裸片的吸附切換為不吸附，從而將問題裸片殘留在切割片上，問題裸片的回收較容易。

并且，如技術方案3所述，其構成也可以是，剝離臺具有對于能夠通過吸附嘴同時拾取的多個裸片的粘貼部分按照每個裸片分別獨立地切換吸引/不吸引的單元。這樣一來，例如如果在能夠同時進行片剝離的多個裸片中存在問題裸片，則可將該問題裸片的粘貼部分的吸引切換為不吸引，使問題裸片直接在粘貼的狀態下殘留于切割片，問題裸片的回收較容易。

并且，如技術方案4所述，其構成也可以是，吸附嘴構成為能夠在同時拾取了多個裸片的狀態下上下翻轉。這樣一來，在將本實用新型的拾取裝置設置到零件安裝機上使用時，在通過吸附嘴同時拾取了多個裸片的狀態下使該吸附嘴上下翻轉，可通過零件安裝機的安裝嘴將該吸附嘴上的多個裸片一個個依次吸附并安裝到電路基板上，可提高生產率。

附圖說明

圖1是本實用新型的實施例1中的裸片拾取裝置的立體圖。

圖2是設置了實施例1的裸片拾取裝置的零件安裝機的立體圖。

圖3是表示實施例1的裸片的片剝離的滑動動作開始時的狀態(省略切割片的圖示)的立體圖。

圖4是表示實施例1的裸片的片剝離的滑動動作結束時的狀態(省略切割片的圖示)的立體圖。

圖5是說明實施例1的切割片上的各裸片和剝離臺的片吸引孔的位置關系的俯視圖。