[實用新型]裸片拾取裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220050767.1 | 申請日： | 2012-02-16 |
| 公開（公告）號： | CN202558261U | 公開（公告）日： | 2012-11-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 巖城范明;濱根剛 | 申請（專利權(quán)）人： | 富士機械制造株式會社 |
| 主分類號： | B65G47/90 | 分類號： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 高培培;車文 |
| 地址： | 日本愛知*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拾取 裝置 | ||
1.一種裸片拾取裝置，具有：吸附嘴，拾取切割片上的裸片，該切割片上粘貼了將晶圓切割為棋盤格狀而形成的多個裸片；剝離臺，從上述切割片的下表面?zhèn)任ㄟ^上述吸附嘴拾取的裸片的粘貼部分，而對該裸片的粘貼部分進行片剝離，上述剝離臺具有吸引上述切割片的片吸引孔，通過上述吸附嘴吸附保持上述切割片上的裸片，且使上述剝離臺從該裸片的粘貼部分的近前側(cè)滑動至該裸片的粘貼部分的正下方，從而通過上述片吸引孔對該裸片的粘貼部分逐漸進行片剝離，其特征在于，
上述吸附嘴構(gòu)成為能夠同時拾取多個裸片，
上述剝離臺的片吸引孔形成為，通過上述吸附嘴同時吸附保持上述多個裸片，且同時對該多個裸片的粘貼部分進行片剝離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裸片拾取裝置，其特征在于，
上述吸附嘴具有對于能夠同時拾取的多個裸片按照每個裸片分別獨立地切換吸附/不吸附的單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裸片拾取裝置，其特征在于，
上述剝離臺具有對于能夠通過上述吸附嘴同時拾取的多個裸片的粘貼部分按照每個裸片分別獨立地切換吸引/不吸引的單元。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的裸片拾取裝置，其特征在于，
上述吸附嘴構(gòu)成為能夠在同時拾取了多個裸片的狀態(tài)下上下翻轉(zhuǎn)。
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