[實(shí)用新型]翻片機(jī)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220014165.0 | 申請日: | 2012-01-13 |
| 公開(公告)號: | CN202405242U | 公開(公告)日: | 2012-08-29 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 戴秋喜;劉蘇凱 | 申請(專利權(quán))人: | 無錫尚德太陽能電力有限公司;庫特勒自動(dòng)化系統(tǒng)(蘇州)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司: | 北京金信立方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225 | 代理人: | 黃威;郭迎俠 |
| 地址: | 214028 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 翻片機(jī) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種用于硅片生產(chǎn)鍍膜制程中的翻片機(jī),屬于太陽電池制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)
太陽電池片是由單晶或多晶硅片經(jīng)清洗、制絨、擴(kuò)散、邊緣刻蝕、鍍減反膜、印刷電極和燒結(jié)等多道工序加工制成。在硅片生產(chǎn)鍍膜制程中,鍍膜線和燒結(jié)爐之間的硅片的轉(zhuǎn)移全靠人工搬運(yùn)完成,因此硅片的鍍膜面會與人體接觸,從而造成不良率增加。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種可避免人為接觸硅片,從而降低碎片率和產(chǎn)品不良率的翻片機(jī)。
為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案:一種翻片機(jī),包括:
支撐組件;
用于輸送硅片的多條輸送帶,多條所述輸送帶相間隔的設(shè)置在所述支撐組件上,多條所述輸送帶平行且其上表面位于同一平面上;
設(shè)置在所述輸送帶的一端用于承載由所述輸送帶輸送來的所述硅片并將所述硅片翻轉(zhuǎn)至下道工序設(shè)備上的多個(gè)翻轉(zhuǎn)組件,所述翻轉(zhuǎn)組件固定在所述支撐組件上。
作為優(yōu)選,每個(gè)所述翻轉(zhuǎn)組件包括機(jī)架、設(shè)置在所述機(jī)架上的轉(zhuǎn)動(dòng)軸、固定連接在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的翻轉(zhuǎn)吸臂以及驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)的第一伺服電機(jī),所述翻轉(zhuǎn)吸臂的上表面上設(shè)置有用于吸附由所述輸送帶輸送至所述翻轉(zhuǎn)吸臂上表面的所述硅片的吸盤。
作為優(yōu)選,每個(gè)所述翻轉(zhuǎn)組件包括兩個(gè)所述翻轉(zhuǎn)吸臂,每個(gè)所述翻轉(zhuǎn)吸臂上設(shè)置有兩個(gè)所述吸盤,所述吸盤的上表面不高于所述輸送帶的上表面且四個(gè)所述吸盤的上表面位于同一平面上。
作為優(yōu)選,所述翻轉(zhuǎn)組件上設(shè)置用于感應(yīng)所述硅片已到位并將感應(yīng)的信號傳給控制器以控制所述第一伺服電機(jī)啟動(dòng)的感應(yīng)器。
作為優(yōu)選,所述支撐組件上架設(shè)有垂直于所述輸送帶的傳動(dòng)軸,所述傳動(dòng)軸由第二伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),所述傳動(dòng)軸上裝配有多個(gè)隨傳動(dòng)軸一起轉(zhuǎn)動(dòng)的主動(dòng)輪,每個(gè)所述主動(dòng)輪對應(yīng)一個(gè)從動(dòng)輪,每個(gè)所述主動(dòng)輪和與其對應(yīng)的所述從動(dòng)輪上設(shè)置一條所述輸送帶。
作為優(yōu)選,從一側(cè)開始,相鄰兩條所述輸送帶為一組用于輸送一片硅片,所述翻轉(zhuǎn)吸臂伸入到一組的兩條輸送帶一端的之間,每組所述輸送帶的兩側(cè)均設(shè)置有用于限位和導(dǎo)向所述硅片的導(dǎo)向板組。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的翻片機(jī)的有益效果在于:
1、采用本實(shí)用新型的翻片機(jī)代替人工搬運(yùn),完全避免了人為接觸硅片,而且翻轉(zhuǎn)吸臂只接觸非鍍膜面,因此降低了硅片的不良率。
2、硅片的翻轉(zhuǎn)采用真空吸附方式,伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng),因此翻轉(zhuǎn)吸臂動(dòng)作平穩(wěn),翻轉(zhuǎn)速度可調(diào),保證翻轉(zhuǎn)動(dòng)作輕柔,翻轉(zhuǎn)精度高,碎片率可控制在3‰以內(nèi)。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型的實(shí)施例的翻片機(jī)的整體結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例的翻片機(jī)的另一個(gè)方向的整體結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3為圖2中A部分的放大圖;
圖4為本實(shí)用新型的實(shí)施例的翻片機(jī)的翻轉(zhuǎn)吸臂的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖5為本實(shí)用新型的實(shí)施例的翻片機(jī)的輸送帶及傳動(dòng)軸連接關(guān)系的結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖標(biāo)記說明
1-支撐組件????????2-輸送帶
3-翻轉(zhuǎn)組件????????31-機(jī)架
32-轉(zhuǎn)動(dòng)軸?????????33-第一伺服電機(jī)
34-翻轉(zhuǎn)吸臂???????35-吸盤
36-驅(qū)動(dòng)輪?????????37-從動(dòng)輪
4-導(dǎo)向板組????????5-傳動(dòng)軸
6-第二伺服電機(jī)????7-主動(dòng)輪
8-從動(dòng)輪??????????9-控制面板
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述,但不作為對本實(shí)用新型的限定。
如圖1、圖2和圖3所示,本實(shí)施例的翻片機(jī)包括支撐組件1、多條輸送帶2、多個(gè)翻轉(zhuǎn)組件3和控制面板9。本實(shí)施例中的支撐組件1為一箱體式框架。輸送帶2用于輸送硅片,多條輸送帶2相間隔的架設(shè)在所述框架的上部,并使多條輸送帶2之間相互平行且輸送帶2的上表面位于同一平面上,以使被輸送的硅片平穩(wěn)安全的運(yùn)行。翻轉(zhuǎn)組件3設(shè)置在輸送帶2的一端用于承載由輸送帶2輸送來的所述硅片并將所述硅片翻轉(zhuǎn)至下道工序的設(shè)備上,翻轉(zhuǎn)組件3固定在支撐組件上。在本實(shí)施例中,從一側(cè)開始,相鄰兩條輸送帶2為一組用于輸送一片硅片,構(gòu)成一組的兩條輸送帶2的一端對應(yīng)一個(gè)翻轉(zhuǎn)組件3,翻轉(zhuǎn)組件3用于翻轉(zhuǎn)與其對應(yīng)的輸送帶2輸送來的硅片。控制面板9用于控制輸送帶2的傳動(dòng)以及控制翻轉(zhuǎn)組件3的翻轉(zhuǎn)啟動(dòng)時(shí)間、翻轉(zhuǎn)速度和翻轉(zhuǎn)角度。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于無錫尚德太陽能電力有限公司;庫特勒自動(dòng)化系統(tǒng)(蘇州)有限公司,未經(jīng)無錫尚德太陽能電力有限公司;庫特勒自動(dòng)化系統(tǒng)(蘇州)有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201220014165.0/2.html,轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





