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[實(shí)用新型]翻片機(jī)有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201220014165.0 申請(qǐng)日: 2012-01-13
公開(公告)號(hào): CN202405242U 公開(公告)日: 2012-08-29
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 戴秋喜;劉蘇凱 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 無(wú)錫尚德太陽(yáng)能電力有限公司;庫(kù)特勒自動(dòng)化系統(tǒng)(蘇州)有限公司
主分類號(hào): H01L21/677 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 北京金信立方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225 代理人: 黃威;郭迎俠
地址: 214028 江蘇*** 國(guó)省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 翻片機(jī)
【權(quán)利要求書】:

1.一種翻片機(jī),其特征在于,包括:

支撐組件;

用于輸送硅片的多條輸送帶,多條所述輸送帶相間隔的設(shè)置在所述支撐組件上,多條所述輸送帶平行且其上表面位于同一平面上;

設(shè)置在所述輸送帶的一端用于承載由所述輸送帶輸送來(lái)的所述硅片并將所述硅片翻轉(zhuǎn)至下道工序設(shè)備上的多個(gè)翻轉(zhuǎn)組件,所述翻轉(zhuǎn)組件固定在所述支撐組件上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的翻片機(jī),其特征在于,每個(gè)所述翻轉(zhuǎn)組件包括機(jī)架、設(shè)置在所述機(jī)架上的轉(zhuǎn)動(dòng)軸、固定連接在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的翻轉(zhuǎn)吸臂以及驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)的第一伺服電機(jī),所述翻轉(zhuǎn)吸臂的上表面上設(shè)置有用于吸附由所述輸送帶輸送至所述翻轉(zhuǎn)吸臂上表面的所述硅片的吸盤。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的翻片機(jī),其特征在于,每個(gè)所述翻轉(zhuǎn)組件包括兩個(gè)所述翻轉(zhuǎn)吸臂,每個(gè)所述翻轉(zhuǎn)吸臂上設(shè)置有兩個(gè)所述吸盤,所述吸盤的上表面不高于所述輸送帶的上表面且四個(gè)所述吸盤的上表面位于同一平面上。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的翻片機(jī),其特征在于,所述翻轉(zhuǎn)組件上設(shè)置用于感應(yīng)所述硅片已到位并將感應(yīng)的信號(hào)傳給控制器以控制所述第一伺服電機(jī)啟動(dòng)的感應(yīng)器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的翻片機(jī),其特征在于,所述支撐組件上架設(shè)有垂直于所述輸送帶的傳動(dòng)軸,所述傳動(dòng)軸由第二伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),所述傳動(dòng)軸上裝配有多個(gè)隨傳動(dòng)軸一起轉(zhuǎn)動(dòng)的主動(dòng)輪,每個(gè)所述主動(dòng)輪對(duì)應(yīng)一個(gè)從動(dòng)輪,每個(gè)所述主動(dòng)輪和與其對(duì)應(yīng)的所述從動(dòng)輪上設(shè)置一條所述輸送帶。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的翻片機(jī),其特征在于,從一側(cè)開始,相鄰兩條所述輸送帶為一組用于輸送一片硅片,所述翻轉(zhuǎn)吸臂伸入到一組的兩條輸送帶一端的之間,每組所述輸送帶的兩側(cè)均設(shè)置有用于限位和導(dǎo)向所述硅片的導(dǎo)向板組。

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